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硼化铈（CeB）是一类稀土硼化物材料，常见形式为 CeB₆，以其低电子逸出功、高熔点、高硬度和优异化学稳定性而著称。与 LaB₆ 类似，CeB₆ 是高性能热电子发射材料之一，在真空电子学、电子束技术、高温功能涂层和先进薄膜研究中具有重要价值。
作为溅射靶材，CeB 具有良好的放电稳定性和成膜一致性，可制备出致密均匀、稳定性极高的功能陶瓷薄膜，适用于研究级与工业级薄膜制备工艺。
苏州科跃材料科技有限公司提供高致密、高纯度、可定制的 CeB 溅射靶材，满足不同真空镀膜系统的应用需求。
纯度：99.5%–99.9%（3N）
组成：CeB₆（可按需提供不同 B 比例）
尺寸范围：直径 Φ25–300 mm
厚度：3–6 mm（可定制）
形状：圆靶、矩形靶、阶梯靶、异形靶
制造工艺：热压（HP）、热等静压（HIP）、真空烧结
致密度：≥95% TD（理论密度），低颗粒、低针孔
背板结合：可选 Cu / Ti 背板，支持铟焊（Indium Bonding）
极低电子逸出功，适用于电子发射薄膜
熔点高（>2200°C），耐高温性能优秀
硬度大、耐磨损、耐腐蚀
低蒸汽压，适用于真空环境
薄膜结构均匀，适用于高精度功能涂层
硼化铈（CeB）溅射靶材在以下高端领域中广泛应用：
热电子发射材料（Thermionic Emission）
用于电子束蒸发源、电子枪、SEM/TEM 发射极。
高温防护涂层
适合真空炉、高温组件、耐腐蚀薄膜。
电子与光电功能薄膜
包括导电陶瓷膜、吸收膜、界面功能层等。
真空电子器件（Vacuum Electronics）
用于微波管、X 射线源、放大器件。
稀土硼化物材料研究
包括电子结构、低维材料、强关联体系研究。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5%–99.9% | 纯度提升可减少薄膜缺陷 |
| 成分 | CeB₆ 或可定制 | 可按应用调整 B 含量 |
| 尺寸 | Φ25–300 mm | 兼容主流溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响靶材寿命与溅射稳定性 |
| 致密度 | ≥95% TD | 获得低颗粒、高致密薄膜 |
| 背板 | Cu/Ti + 铟焊 | 强化散热能力，提升稳定性 |
| 材料 | 特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| CeB（CeB₆） | 高发射能力、耐高温 | 电子束阴极、真空电子学 |
| LaB₆ | 超低逸出功，发射能力更高 | SEM/TEM 发射源、E-beam |
| TiB₂ | 高硬度导电陶瓷 | 耐磨涂层、工程薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CeB 靶材能用于 RF 与 DC 溅射吗？ | 可以，两种模式均兼容。 |
| CeB 是否容易氧化？ | 常温稳定，建议真空密封保存。 |
| 是否可提供定制成分？ | 可以，根据研究需求调整 Ce:B 比例。 |
| 是否适合高功率长时溅射？ | CeB₆ 具极高耐热性，非常适合高功率工况。 |
| 是否提供 Cu/Ti 背板和铟焊？ | 可以按设备需求配置。 |
| 是否可用于电子束蒸发源？ | CeB₆ 是热电子阴极材料之一，可应用于 E-beam 系统。 |
| 是否可提供检测报告？ | 可按需提供 ICP、密度、物性等检测数据。 |
真空密封袋包装
干燥剂防潮
防震泡沫保护
出口级硬纸箱或木箱
每片靶材附唯一追踪码与质检记录
硼化铈靶材（CeB）具有优异的电子发射能力、耐高温性和化学稳定性，是真空电子学、热电子发射、光电薄膜和高温工程涂层中的关键材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、可定制的 CeB 溅射靶材，为科研与工业薄膜制备提供稳定可靠的材料支持。
如需报价与技术信息，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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