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硼化铁(FeB)是一种由铁与硼形成的金属间化合物材料,具有高硬度、优异的耐磨性、良好的化学稳定性和较高的熔点。FeB 薄膜在耐磨涂层、抗腐蚀保护层、磁性薄膜以及表面工程领域具有应用价值。作为溅射靶材,FeB 可用于制备均匀致密的功能薄膜,适合科研、表面改性以及先进制造工艺。
高纯 FeB 溅射靶材具有良好的溅射稳定性、低颗粒生成(Low Particle)和出色的膜层附着力,适用于直流(DC)与射频(RF)磁控溅射系统。
硼化铁靶材通常采用真空烧结、热压(Hot Pressing)或热等静压(HIP)工艺制备,以获得高致密度与均匀的微观结构。
● 化学式: FeB、Fe₂B(可根据需求定制)
● 纯度: 99%–99.9%(2N–3N)
● 密度: ≥90–95% 理论密度
● 尺寸: Ø25–Ø300 mm,矩形靶可按需定制
● 厚度: 3–6 mm(亦可定制特殊尺寸)
● 工艺: Vacuum Sintering / Hot Pressing / HIP
● 背板(可选): 铜背板、钛背板、铟焊接
● 外观: 深灰至黑色致密金属间化合物表面
高致密 FeB 靶材可有效降低膜层颗粒、提升成膜均匀性与薄膜耐磨性。
硼化铁薄膜因其高硬度、高耐磨性和稳定的化学性能,被广泛应用于:
刀具与模具表面保护
高摩擦环境下的耐磨薄膜
防腐蚀结构材料涂层
金属基复合材料涂层
耐蚀增强薄膜
工业零件强化处理
FeB 与 Fe₂B 可用于:
软磁薄膜研究
结构磁性复合薄膜
功能性磁层与界面层
金属间化合物薄膜
Fe–B 相图研究
共溅射 Fe、B、FeB 体系功能层
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99%–99.9% | 满足大多数功能薄膜要求 |
| 密度 | ≥90–95% TD | 高致密性提升薄膜平整性 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 适用于科研与量产设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定使用寿命与热稳定性 |
| 可选相结构 | FeB / Fe₂B | 不同相结构用于不同薄膜特性 |
| 背板选项 | Cu / Ti / Indium | 增强散热与结构完整性 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| FeB | 更高硬度、优良耐磨性 | 工具耐磨涂层、功能薄膜 |
| Fe₂B | 更高脆性但导磁性更佳 | 磁性薄膜与硬质涂层 |
| TiB₂ | 超高硬度、耐腐蚀 | 刀具与航空防护涂层 |
| CrB₂ | 良好耐磨与抗氧化性 | 高温防护薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| FeB 靶材适用于 DC 或 RF? | 两者均可,FeB 有一定导电性。 |
| 是否可以定制 Fe:B 比例? | 可以,可按需求调控化学计量比。 |
| FeB 薄膜是否耐腐蚀? | 具有良好的抗腐蚀性与抗磨损性。 |
| 溅射需要基底加热吗? | 适当加热可提升薄膜致密度与附着力。 |
| 是否适合共溅射? | 适合,可与 Fe、B、TiB₂ 等靶材组合。 |
| 靶材易开裂吗? | 采用 Cu/Ti 背板可有效减少热应力风险。 |
● 真空密封包装
● 四周防震泡棉保护
● 出口级抗冲击木箱包装
● 每件产品附唯一批次号与质检报告
确保靶材在运输与长期储存中不受污染或损伤。
硼化铁靶材(FeB)凭借其耐磨、耐腐蚀、硬度高以及稳定的溅射成膜特性,在表面工程、磁性材料研究和功能薄膜领域具有广泛应用。高致密高纯 FeB 靶材可显著提升膜层稳定性,是科研与工业用途的重要材料。
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