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硼化钽靶材（TaB 或常见相态 TaB₂）是一种典型的超高温耐火陶瓷材料，具有极高的熔点（> 3000 ℃）、优异的硬度、良好的导电性以及显著的耐磨和抗腐蚀性能。作为 PVD 薄膜沉积材料，TaB 靶材广泛用于硬质涂层、高温防护涂层、电极与导电薄膜以及航空航天相关功能膜的制备。
在磁控溅射过程中，高纯度、高致密度的 TaB 靶材能够提供稳定、均匀的溅射速率，并有效降低颗粒喷射与靶材开裂风险，是先进涂层与高端薄膜材料制备中的可靠选择。
● 纯度： 99.5% – 99.99%
● 常见化学计量： TaB、TaB₂（最常用）
● 尺寸范围： Ø25–300 mm（可按需定制）
● 厚度： 2–6 mm（可根据设备与靶寿命需求调整）
● 致密度： ≥ 95% 理论致密度
● 制造工艺：
– 真空热压烧结（Hot Pressing）
– 冷等静压（CIP）
– 热等静压（HIP）致密化
– 精密 CNC 加工、倒角、抛光
● 背板结构（可选）： 铜背板（Cu）、钛背板（Ti）、铟焊（Indium Bonding）
● 外观特征： 深灰至黑色陶瓷质感、均匀致密
● 适用设备： RF / DC 磁控溅射、离子束溅射、工业级 PVD 涂层系统
TaB 靶材具备高硬度与优异的热稳定性，在高功率溅射、高温溅射和长时间沉积中表现稳定，适用于产业级批量生产。
● 超硬涂层（Superhard Coatings）
用于刀具、模具、机械零件等需要高耐磨性的表面。
● 高温防护涂层（Thermal Barrier / Protective Films）
适用于发动机部件、火箭喷嘴等极端环境。
● 导电薄膜（Conductive Coatings）
兼具陶瓷硬度与金属导电性。
● 光学与红外薄膜（Optical / IR Films）
TaB₂ 的光学稳定性适用于红外吸收和反射涂层。
● 航空航天与先进制造
满足高温、耐腐蚀、耐冲蚀薄膜需求。
● 多层复合薄膜（Multilayer Films）
常作为硬质膜或阻挡层用于 TiB₂、ZrB₂、TaC 等复合结构。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5%–99.99% | 高纯度降低薄膜杂质与缺陷 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 可适配所有主流 PVD 溅射设备 |
| 厚度 | 2–6 mm | 根据功率及靶寿命定制 |
| 致密度 | ≥95% 理论密度 | 高致密减少颗粒喷射 |
| 化学组成 | TaB / TaB₂ | 可根据工艺需求选择 |
| 背板结构 | Cu / Ti / In bonding | 提升散热与改善机械稳定性 |
| 材料 | 主要特点 | 应用 |
|---|---|---|
| TaB₂ | 高熔点、高硬度、良好导电性 | 工具涂层、耐热薄膜 |
| TiB₂ | 高硬度、耐化学性 | 刀具涂层、电极材料 |
| ZrB₂ | 更好的高温氧化性能 | 航空航天薄膜 |
| TaC | 极高熔点与强抗蚀性 | 超高温陶瓷涂层 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| TaB 靶材是否适用于 DC 溅射？ | 可用于 DC 和 RF，两者均兼容。 |
| 靶材是否脆？ | 作为陶瓷材料，TaB 具有一定脆性，建议使用背板。 |
| 是否适合高功率长时间沉积？ | 是的，TaB₂ 的耐热性优异，适合高功率溅射。 |
| 会产生颗粒吗？ | 高致密靶材可显著降低颗粒喷射。 |
| 能否定制不同厚度或形状？ | 可以完全按图纸定制。 |
| 是否支持与其他材料共溅射？ | 支持，用于复合硬质膜或阻挡层结构。 |
| 可否提供超高纯版本？ | 可按需求供应更高纯度等级。 |
● 单片真空密封
● 防静电袋 + 防震泡棉
● 出口级木箱包装
● 附带质量检测报告（纯度、密度、尺寸）及批次追踪编码
硼化钽靶材（TaB / TaB₂）以其极高的耐热性、硬度与稳定性，在高端工具涂层、航空航天、红外薄膜及先进制造中发挥关键作用。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度、可定制的 TaB 系列靶材，适用于科研与产业化薄膜制备需求。
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