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硼化钼(MoB)是一类重要的金属硼化物材料,兼具金属的高导电性与陶瓷材料的高硬度、耐磨性和高熔点特性。MoB 具有优异的热稳定性、耐腐蚀性和机械强度,是硬质涂层、耐磨薄膜、阻挡层和高温结构薄膜的重要材料。
作为磁控溅射靶材,MoB 在 PVD 薄膜沉积中表现出良好的溅射稳定性,可形成致密、均匀、附着力强的功能涂层,在半导体、模具加工、光学镀膜、航空航天和高级工程材料领域有广泛应用。
硼化钼靶材由高纯金属钼粉与硼粉在真空环境下固相反应,经冷等静压(CIP)、热压(HP/HIP)烧结及精密加工制备而成,具有高致密度、低杂质和优异的微观结构稳定性。
可提供参数范围:
纯度:99.5% – 99.9%(2N5 – 3N)
尺寸:Ø25–300 mm;厚度 3–10 mm,可按图纸定制
密度:≥ 95% 理论密度
制造工艺:CIP、HP/HIP、真空烧结、精密研磨
背板选择:铜(Cu)或钛(Ti)背板;可提供铟焊或扩散焊
形状支持:圆靶、方靶、阶梯靶、多段靶
材料特性:
高硬度与耐磨性,适合作为耐磨涂层材料
机械强度高,结构稳定,不易开裂
高致密度降低颗粒掉落风险
溅射稳定性良好,可获得均匀薄膜
具有优异的耐腐蚀性能和耐高温性
MoB 溅射靶材制备的薄膜常用于以下领域:
硬质涂层(Hard Coatings)
耐磨薄膜(Wear-Resistant Coatings)
高温防护涂层(High-Temperature Protective Films)
扩散阻挡层(Diffusion Barrier Films)
模具与切削工具强化涂层
结构陶瓷薄膜(Ceramic Composite Films)
半导体器件保护层
光学与机械功能薄膜
MoB 的硬度与耐腐蚀性使其特别适用于高摩擦环境以及高温操作条件。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5% – 99.9% | 高纯材料能够提高薄膜质量,减少杂质影响 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 兼容科研与工业溅射设备 |
| 厚度 | 3–10 mm | 决定靶材寿命与功率稳定性 |
| 密度 | ≥ 95% 理论密度 | 提高薄膜致密性与机械稳定性 |
| 背板 | Cu / Ti / In bonding | 改善散热性能、降低开裂风险 |
| 制备工艺 | CIP / HP / HIP | 保证靶材的均匀性和致密度 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| MoB | 高硬度、耐高温、耐腐蚀 | 硬质涂层、结构薄膜 |
| MoB₂ | 更高硬度与耐磨性 | 工具与模具涂层 |
| Mo₂B | 化学稳定性更高 | 防护涂层 |
| TiB₂ | 高电导性与极高硬度 | 导电薄膜、耐磨涂层 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| MoB 靶材适用 RF 还是 DC? | 两者皆可,工业应用常用 DC 溅射。 |
| 是否需要背板? | 推荐加 Cu 背板以提升散热和避免开裂。 |
| 是否可以用于高温设备? | 可以,MoB 具有优良的高温稳定性。 |
| 溅射是否易产生颗粒? | 高致密度工艺极大降低颗粒掉落风险。 |
| 是否支持定制尺寸? | 支持圆靶、矩形靶、阶梯靶等多种定制方案。 |
| MoB 薄膜硬度如何? | 具有非常高的硬度,适用于耐磨涂层。 |
| 是否适合工具涂层? | 是,MoB 常用于提升刀具耐磨性和寿命。 |
真空密封
防震泡沫保护
外层为出口级坚固木箱
附带唯一标识编号与质检报告(纯度、尺寸、密度等)
确保靶材在运输与存储过程中保持洁净与完好。
硼化钼靶材(MoB)凭借其高硬度、强耐磨性及高温稳定性,是制备工程级硬质涂层与功能薄膜的理想材料。科跃材料可提供多种纯度、尺寸与定制服务,满足科研到工业化的不同需求。
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