硼化钨铝靶材（WAlB）

产品简介（Introduction）

硼化钨铝靶材（WAlB）是一种由钨（W）、铝（Al）和硼（B）组成的三元层状陶瓷材料靶材，属于 MAB（M–A–B）相材料家族。该材料同时具备金属的导电性与陶瓷的高硬度、高耐热性和优异抗氧化能力，是高温薄膜、耐磨保护层和先进涂层技术中备受关注的新型材料。

由于钨的高熔点与热稳定性、铝的耐氧化优势以及硼化物的结构致密性，WAlB 薄膜表现出极强的耐腐蚀性、热稳定性和机械强度，广泛用于航空航天、微电子器件防护、耐磨薄膜、能源设备薄膜及其它高端技术领域。

产品详情（Detailed Description）

WAlB 靶材通常采用高纯钨粉、铝粉及硼粉，通过固相反应、放电等离子烧结（SPS）、热压烧结（HP）、热等静压（HIP）等工艺制备。高致密度和均匀的相结构可有效减少溅射颗粒，提升薄膜均匀性与附着力。

● 典型参数

• 纯度（Purity）： 99% – 99.9%

• 化学成分（Composition）： W–Al–B（三元 MAB 相，可按需求调整比）

• 尺寸（Size）： Ø25–Ø300 mm 或矩形靶材

• 厚度（Thickness）： 2–6 mm（可提供薄靶）

• 制造工艺（Process）： SPS / HP / HIP / CIP

• 背板（Bonding）： Cu / Ti / Indium Bonding（提升散热与强度）

● 材料特性

• 优异高温稳定性（>1200°C）

• 高硬度与出色耐磨性

• 良好抗氧化能力

• 导电性优于传统陶瓷

• 膜层颗粒少、结构均匀

• 与金属、陶瓷基底匹配性强

应用领域（Applications）

1. 高温防护涂层（High Temperature Protective Coatings）

得益于钨的高熔点与 MAB 结构的稳定性，WAlB 薄膜能在极端环境中保持完整性，可用于：

• 航空发动机部件表面保护

• 高温加热元件涂层

• 极端温度环境下的金属防护层

• 能源系统与反应堆结构膜

2. 耐磨与低摩擦薄膜（Wear-resistant & Low-friction Films）

WAlB 具有优秀耐磨性，适用于：

• 刀具与模具表面强化

• 高负荷滑动部件

• 机械轴承、活塞及密封薄膜

• MEMS 器件耐磨保护层

3. 微电子与半导体结构层（Microelectronics）

WAlB 具有金属性能，可用于：

• 电极层

• 高温互连结构

• 功能过渡层（Buffer / Barrier）

• 芯片热防护薄膜

4. 航空航天与极端工况应用（Aerospace & Extreme Environments）

适用于：

• 超高温结构薄膜

• 先进复合材料界面层

• 热障涂层体系（TBC）基底层

技术参数（Technical Parameters）

材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

1. WAlB 靶材可用于 RF 溅射吗？
可以，DC、RF、HiPIMS 均兼容。

2. 膜层在高温下是否容易氧化？
不易。WAlB 具有极强抗氧化性能，可在高温下保持稳定。

3. 成分比例能否定制？
可按 wt% 或 at% 调整，但通常保持 WAlB 相结构。

4. 是否支持加背板？
建议加背板以减少热应力并提高镀膜稳定性。

5. 是否适合高真空与高功率沉积？
适合，结构稳定性强，耐热能力非常高。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空封装

• 干燥剂防潮保护

• 防震泡沫和硬质外箱包装

• 附 COA、成分检测、尺寸检测报告

• 每片靶材均附唯一批号标签

结论（Conclusion）

硼化钨铝靶材（WAlB）兼具高温稳定性、耐磨性与一定导电性，是航空航天、微电子、高耐温结构膜和先进工业防护薄膜的关键新材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、性能稳定的 WAlB 靶材，满足科研与工业客户的严苛需求。

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