硼化钛靶材(TiB)

硼化钛靶材(TiB)

产品简介(Introduction)

硼化钛(TiB)是一类重要的金属硼化物材料,以其优异的硬度、高熔点、良好导电性、强耐磨性及化学稳定性而著称。TiB 薄膜常用于提高表面硬度、耐腐蚀性和耐高温性能,因此在硬质涂层、耐磨薄膜、导电保护层以及结构陶瓷薄膜制备中占据重要地位。

作为磁控溅射靶材,TiB 能沉积致密、附着力强的功能薄膜,适用于半导体、模具制造、切削工具、光学镀膜、航空航天和材料科学研究等领域。


产品详情(Detailed Description)

科跃材料生产的 TiB 溅射靶材采用高纯钛粉与高纯硼粉,通过真空固相反应、冷等静压(CIP)及热压烧结(HP/HIP)工艺制备,靶材具有高致密度、高纯度和优异的机械稳定性。

提供的规格范围包括:

  • 纯度:99.5% – 99.9%(2N5 – 3N)

  • 尺寸:Ø25–300 mm;厚度 3–10 mm,可按图纸定制

  • 密度:≥ 95% 理论密度

  • 制造工艺:CIP、HP/HIP、真空烧结、精密加工

  • 背板选择:Cu / Ti 背板;支持铟焊或扩散焊

  • 形状:圆靶、方靶、阶梯靶、分段靶等

靶材特点:

  • 高硬度与高耐磨性,适合机械强化涂层

  • 溅射稳定性好,薄膜均匀致密

  • 良好的高温稳定性与耐腐蚀能力

  • 结构完整性高,不易破裂或掉粉


应用领域(Applications)

TiB 薄膜在工程材料与高性能工业应用中广泛使用,包括:

  • 硬质涂层(Hard Coatings)

  • 耐磨薄膜(Wear-Resistant Films)

  • 工具与模具表面处理(Tooling Coatings)

  • 导电保护层(Conductive Barrier Layers)

  • 结构陶瓷薄膜(Ceramic Composite Films)

  • 航空航天防护涂层

  • 半导体与微电子薄膜结构

TiB 靶材制备的薄膜可显著提升表面硬度与耐磨性,延长部件使用寿命。


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 重要性说明
纯度 99.5% – 99.9% 高纯材料可得到低污染、高质量薄膜
直径 Ø25–300 mm 适配科研及工业溅射系统
厚度 3–10 mm 决定溅射寿命与热稳定性
密度 ≥ 95% 理论密度 有助于获得均匀致密的薄膜
背板 Cu / Ti / In bonding 提升散热能力与结构稳定性
制备工艺 CIP / HP / HIP 保证材料致密性与均匀性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 优势 应用
TiB 高硬度、耐磨性强 机械强化涂层、陶瓷薄膜
TiB₂ 更高硬度与电导率 导电层、耐磨薄膜
TiC 化学稳定性好 工具材料、抗磨涂层
TiN 良好金黄色外观、耐磨 装饰与功能涂层

常见问题(FAQ)

问题 答案
TiB 靶材适用于哪种溅射方式? RF 与 DC 均可,DC 溅射常用于工业应用。
靶材是否易碎? TiB 为陶瓷类复合材料,较脆,建议使用 Cu 背板增强强度。
是否能制备高硬度薄膜? 是的,TiB 薄膜硬度高,非常适合耐磨类应用。
能否提供定制尺寸? 可以,根据客户图纸制作。
是否需要退火? 一般无需退火,但可根据薄膜结构需求选择后处理。
溅射产生颗粒的概率高吗? 高致密度工艺可显著降低颗粒风险。
是否适合高速切削工具涂层? 是,TiB/TiB₂ 系列广泛用于刀具表面强化。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封包装

  • 防震保护泡沫

  • 出口级木箱包装

  • 每片靶材附唯一编号与质检报告(纯度、密度、尺寸等)

确保在运输中保持安全、清洁与完整。


结论(Conclusion)

硼化钛靶材(TiB)凭借其高硬度、耐磨性和优异的化学稳定性,是制备高性能硬质涂层和陶瓷薄膜的重要材料。科跃材料提供高纯度、高致密度的 TiB 靶材,可满足科研实验及工业生产的多种需求。

如需了解价格、交期或更多技术资料,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com