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硼化钛(TiB)是一类重要的金属硼化物材料,以其优异的硬度、高熔点、良好导电性、强耐磨性及化学稳定性而著称。TiB 薄膜常用于提高表面硬度、耐腐蚀性和耐高温性能,因此在硬质涂层、耐磨薄膜、导电保护层以及结构陶瓷薄膜制备中占据重要地位。
作为磁控溅射靶材,TiB 能沉积致密、附着力强的功能薄膜,适用于半导体、模具制造、切削工具、光学镀膜、航空航天和材料科学研究等领域。
科跃材料生产的 TiB 溅射靶材采用高纯钛粉与高纯硼粉,通过真空固相反应、冷等静压(CIP)及热压烧结(HP/HIP)工艺制备,靶材具有高致密度、高纯度和优异的机械稳定性。
提供的规格范围包括:
纯度:99.5% – 99.9%(2N5 – 3N)
尺寸:Ø25–300 mm;厚度 3–10 mm,可按图纸定制
密度:≥ 95% 理论密度
制造工艺:CIP、HP/HIP、真空烧结、精密加工
背板选择:Cu / Ti 背板;支持铟焊或扩散焊
形状:圆靶、方靶、阶梯靶、分段靶等
靶材特点:
高硬度与高耐磨性,适合机械强化涂层
溅射稳定性好,薄膜均匀致密
良好的高温稳定性与耐腐蚀能力
结构完整性高,不易破裂或掉粉
TiB 薄膜在工程材料与高性能工业应用中广泛使用,包括:
硬质涂层(Hard Coatings)
耐磨薄膜(Wear-Resistant Films)
工具与模具表面处理(Tooling Coatings)
导电保护层(Conductive Barrier Layers)
结构陶瓷薄膜(Ceramic Composite Films)
航空航天防护涂层
半导体与微电子薄膜结构
TiB 靶材制备的薄膜可显著提升表面硬度与耐磨性,延长部件使用寿命。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5% – 99.9% | 高纯材料可得到低污染、高质量薄膜 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 适配科研及工业溅射系统 |
| 厚度 | 3–10 mm | 决定溅射寿命与热稳定性 |
| 密度 | ≥ 95% 理论密度 | 有助于获得均匀致密的薄膜 |
| 背板 | Cu / Ti / In bonding | 提升散热能力与结构稳定性 |
| 制备工艺 | CIP / HP / HIP | 保证材料致密性与均匀性 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| TiB | 高硬度、耐磨性强 | 机械强化涂层、陶瓷薄膜 |
| TiB₂ | 更高硬度与电导率 | 导电层、耐磨薄膜 |
| TiC | 化学稳定性好 | 工具材料、抗磨涂层 |
| TiN | 良好金黄色外观、耐磨 | 装饰与功能涂层 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| TiB 靶材适用于哪种溅射方式? | RF 与 DC 均可,DC 溅射常用于工业应用。 |
| 靶材是否易碎? | TiB 为陶瓷类复合材料,较脆,建议使用 Cu 背板增强强度。 |
| 是否能制备高硬度薄膜? | 是的,TiB 薄膜硬度高,非常适合耐磨类应用。 |
| 能否提供定制尺寸? | 可以,根据客户图纸制作。 |
| 是否需要退火? | 一般无需退火,但可根据薄膜结构需求选择后处理。 |
| 溅射产生颗粒的概率高吗? | 高致密度工艺可显著降低颗粒风险。 |
| 是否适合高速切削工具涂层? | 是,TiB/TiB₂ 系列广泛用于刀具表面强化。 |
真空密封包装
防震保护泡沫
出口级木箱包装
每片靶材附唯一编号与质检报告(纯度、密度、尺寸等)
确保在运输中保持安全、清洁与完整。
硼化钛靶材(TiB)凭借其高硬度、耐磨性和优异的化学稳定性,是制备高性能硬质涂层和陶瓷薄膜的重要材料。科跃材料提供高纯度、高致密度的 TiB 靶材,可满足科研实验及工业生产的多种需求。
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📧 sales@keyuematerials.com
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