硼化钒靶材(VB)

产品简介(Introduction)

硼化钒(VB)靶材是一类高熔点、超硬度、化学稳定性极佳的金属硼化物靶材,在高耐磨薄膜、耐腐蚀涂层、半导体工艺、光电设备和高温环境应用中具有重要价值。
VB 具有强金属—共价键特征,使其在薄膜中表现出优异的抗磨损性能、出色的硬度、良好的导电性以及优异的热稳定性,是机械零部件涂层、光学镀膜和电子领域中常用的功能性材料靶材。

主要优势包括:

  • 极高硬度与耐磨性,适合构建超硬薄膜;

  • 化学惰性强,具备良好耐腐蚀性;

  • 热稳定性高,在高温沉积中仍保持完整;

  • 薄膜致密度高、附着力好,适用于高功率溅射工艺。


产品详情(Detailed Description)

我司提供 99.5%–99.9% 高纯硼化钒靶材,采用真空烧结、热压烧结及 HIP(热等静压)等工艺制备,以确保材料致密度高、晶粒细小均匀,满足工业镀膜与科研级薄膜制备需求。

● 常见规格

  • 纯度: 99.5%(2N5)– 99.9%(3N)

  • 尺寸范围: Ø25–300 mm(可定制)

  • 厚度: 3–6 mm

  • 密度: ≥95% 理论密度(TD)

  • 工艺: 真空烧结、热压、HIP 加致密

  • 背板: 可选 Cu / Ti / In bonding(增强散热与稳定性)

这些工艺参数有助于:

  • 提升薄膜硬度和耐磨性;

  • 改善膜层均匀性与致密度;

  • 降低靶材在高功率溅射下的裂纹风险;

  • 提高使用寿命并减少颗粒释放。


应用领域(Applications)

● 超硬与耐磨薄膜

  • 刀具防磨涂层

  • 精密机械零件表面保护膜

  • 高负载摩擦学薄膜

● 光学与红外涂层

  • 具有高稳定性与吸收特性的功能膜层

  • 抗腐蚀光学保护膜

● 半导体与电子应用

  • 电阻薄膜

  • 结构保护层

  • 高温电子薄膜材料

● 能源与航空航天领域

  • 极端环境保护膜

  • 高温结构薄膜

● 科研应用

  • 金属硼化物体系研究

  • 多层复合功能膜研究

  • 高温、耐腐蚀材料开发


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.5%–99.9% 高纯减少薄膜缺陷,提升性能稳定性
密度 ≥95% TD 决定薄膜致密度与力学性能
尺寸 Ø25–300 mm 适配各类溅射腔体与镀膜设备
厚度 3–6 mm 影响溅射速率与散热能力
工艺 烧结 / 热压 / HIP 提高靶材寿命及表面平整度
背板结合 Cu / Ti / In 提升散热性能,减少开裂风险

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 优势 应用
VB 超硬、耐磨、耐腐蚀 刀具镀膜、结构保护膜
TiB₂ 高硬度、成熟工艺 工业耐磨涂层
CrB₂ 良好导电性与热稳定性 高温电极层
VC 摩擦学性能优良 高性能涂层与半导体应用

常见问题(FAQ)

问题 答案
VB 是否适合高功率溅射? 是,材料致密度高且热稳定性好。
是否容易氧化? 稳定性强,短时间空气暴露无影响。
薄膜硬度高吗? VB 薄膜具有优异的超硬特性。
是否适合用于刀具涂层? 是,其耐磨性是主要优势之一。
可否共溅射? 可与 Ti、Cr、B 等材料共溅射形成复合膜。
是否兼容 Si、金属、陶瓷基底? 均可兼容,附着力良好。
大尺寸靶材是否可定制? 支持 Ø300 mm 以上及矩形靶定制。
背板有什么作用? 提升散热稳定性、减少靶材翘曲。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封包装

  • 防震泡沫保护

  • 出口级木箱

  • 随附检测报告与唯一追溯编码

确保靶材在运输中保持洁净与完整。


结论(Conclusion)

硼化钒靶材(VB)以其超硬、耐磨、稳定性高等特性,在刀具涂层、光电薄膜、半导体结构保护层与高温应用中具有重要地位。其高性能薄膜使其成为工业镀膜与科研开发中的关键材料。

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