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硼化钒(VB)靶材是一类高熔点、超硬度、化学稳定性极佳的金属硼化物靶材,在高耐磨薄膜、耐腐蚀涂层、半导体工艺、光电设备和高温环境应用中具有重要价值。
VB 具有强金属—共价键特征,使其在薄膜中表现出优异的抗磨损性能、出色的硬度、良好的导电性以及优异的热稳定性,是机械零部件涂层、光学镀膜和电子领域中常用的功能性材料靶材。
主要优势包括:
极高硬度与耐磨性,适合构建超硬薄膜;
化学惰性强,具备良好耐腐蚀性;
热稳定性高,在高温沉积中仍保持完整;
薄膜致密度高、附着力好,适用于高功率溅射工艺。
我司提供 99.5%–99.9% 高纯硼化钒靶材,采用真空烧结、热压烧结及 HIP(热等静压)等工艺制备,以确保材料致密度高、晶粒细小均匀,满足工业镀膜与科研级薄膜制备需求。
纯度: 99.5%(2N5)– 99.9%(3N)
尺寸范围: Ø25–300 mm(可定制)
厚度: 3–6 mm
密度: ≥95% 理论密度(TD)
工艺: 真空烧结、热压、HIP 加致密
背板: 可选 Cu / Ti / In bonding(增强散热与稳定性)
这些工艺参数有助于:
提升薄膜硬度和耐磨性;
改善膜层均匀性与致密度;
降低靶材在高功率溅射下的裂纹风险;
提高使用寿命并减少颗粒释放。
刀具防磨涂层
精密机械零件表面保护膜
高负载摩擦学薄膜
具有高稳定性与吸收特性的功能膜层
抗腐蚀光学保护膜
电阻薄膜
结构保护层
高温电子薄膜材料
极端环境保护膜
高温结构薄膜
金属硼化物体系研究
多层复合功能膜研究
高温、耐腐蚀材料开发
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5%–99.9% | 高纯减少薄膜缺陷,提升性能稳定性 |
| 密度 | ≥95% TD | 决定薄膜致密度与力学性能 |
| 尺寸 | Ø25–300 mm | 适配各类溅射腔体与镀膜设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射速率与散热能力 |
| 工艺 | 烧结 / 热压 / HIP | 提高靶材寿命及表面平整度 |
| 背板结合 | Cu / Ti / In | 提升散热性能,减少开裂风险 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| VB | 超硬、耐磨、耐腐蚀 | 刀具镀膜、结构保护膜 |
| TiB₂ | 高硬度、成熟工艺 | 工业耐磨涂层 |
| CrB₂ | 良好导电性与热稳定性 | 高温电极层 |
| VC | 摩擦学性能优良 | 高性能涂层与半导体应用 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| VB 是否适合高功率溅射? | 是,材料致密度高且热稳定性好。 |
| 是否容易氧化? | 稳定性强,短时间空气暴露无影响。 |
| 薄膜硬度高吗? | VB 薄膜具有优异的超硬特性。 |
| 是否适合用于刀具涂层? | 是,其耐磨性是主要优势之一。 |
| 可否共溅射? | 可与 Ti、Cr、B 等材料共溅射形成复合膜。 |
| 是否兼容 Si、金属、陶瓷基底? | 均可兼容,附着力良好。 |
| 大尺寸靶材是否可定制? | 支持 Ø300 mm 以上及矩形靶定制。 |
| 背板有什么作用? | 提升散热稳定性、减少靶材翘曲。 |
真空密封包装
防震泡沫保护
出口级木箱
随附检测报告与唯一追溯编码
确保靶材在运输中保持洁净与完整。
硼化钒靶材(VB)以其超硬、耐磨、稳定性高等特性,在刀具涂层、光电薄膜、半导体结构保护层与高温应用中具有重要地位。其高性能薄膜使其成为工业镀膜与科研开发中的关键材料。
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