硫化锰靶材（MnS）

产品简介（Introduction）

硫化锰（MnS）是一类重要的过渡金属硫化物材料，具有宽带隙、良好的化学稳定性、明显的光学特性以及可调控的电学行为。MnS 具有立方或六方晶体结构（取决于制备条件），其优异的光学响应、磁性特征与半导体性质，使其在光电材料、磁性薄膜、红外探测、气体传感以及二维材料研究中受到广泛关注。

作为磁控溅射靶材，MnS 能稳定沉积成分均匀、致密度高的薄膜，适用于高端功能涂层、半导体结构层、研究型薄膜材料以及复合异质结构开发。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司生产的 MnS 靶材采用高纯锰粉和硫粉原料，经真空固相反应、冷等静压（CIP）、热压烧结（HP/HIP）与研磨抛光工艺制备，确保靶材结构稳定、纯度高且溅射过程一致性优良。

可提供规格

• 纯度等级：99.9%（3N）、99.99%（4N）

• 尺寸范围：直径 Ø25–300 mm，可定制方靶

• 厚度范围：3–10 mm

• 密度：≥ 95% 理论密度

• 结构形态：圆靶、矩形靶、阶梯靶、多段靶

• 背板可选：Cu / Ti 背板，支持铟焊与扩散焊

• 晶相可控：立方 α-MnS、六方 β-MnS，可按需求调配制备条件

靶材优势

• 薄膜成分一致性高

• 高致密度靶材有效降低颗粒（particles）产生

• 兼容 RF 与 DC 磁控溅射

• 稳定的化学特性确保薄膜纯净度

• 可在真空与惰性气氛中长期保存

应用领域（Applications）

硫化锰靶材可用于制备多种功能薄膜，应用范围广泛，包括：

1. 光电材料（Optoelectronic Materials）

MnS 的宽带隙与良好光吸收能力使其适用于：

• 紫外–可见光探测器

• 光敏电阻

• 光电转换薄膜

2. 磁性薄膜与自旋电子学（Spintronics）

MnS 膜层具有磁性特征，可用于：

• 磁性半导体研究

• 自旋极化薄膜

• 磁-光功能层

3. 气体传感器（Gas Sensing）

MnS 对某些气体（如 NO₂、NH₃）具有响应，可用于：

• 环境监测薄膜

• 微型气敏元件

4. 二维材料与异质结研究

MnS 与 MoS₂、WS₂、SnS、ZnS 等二维材料可构成：

• 范德华异质结构

• 复合光电器件

• 量子材料实验

5. 半导体薄膜与功能涂层

可用于：

• 阻挡层

• 功能过渡层

• 光学吸收层

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装与交付（Packaging）

• 真空密封铝箔袋

• 内部防震泡沫定位

• 外部出口级木箱保护

• 每片 MnS 靶材均附 ICP 杂质分析、密度与尺寸报告

确保靶材在运输过程中保持洁净、无污染、无损坏。

结论（Conclusion）

硫化锰靶材（MnS）作为兼具光电功能、磁性特征与良好稳定性的半导体材料，在光电探测、磁性薄膜、气敏材料与二维半导体研究中具有重要应用价值。苏州科跃材料可提供高纯度、高致密度、专业级的 MnS 溅射靶材，支持定制化配方与尺寸，满足科研与工业客户的多层次需求。

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