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硫化锌靶材（ZnS）是一种重要的宽带隙Ⅱ–Ⅵ族半导体材料，具有优异的光学透过率、稳定的化学性质以及良好的薄膜沉积特性。ZnS 在可见光、近红外与中红外波段均具有高透光性，是光学镀膜和光电薄膜制备中使用最广泛的硫族化合物之一。
高纯度 ZnS 靶材可在磁控溅射或电子束蒸发过程中沉积出均匀、低吸收、高附着力的光学薄膜，广泛应用于红外窗口、激光器件、防反射膜、介质膜以及显示技术领域。
● 纯度： 99.9% – 99.999%（3N–5N）
● 相态： 立方相（Cubic ZnS）、六方相（Hexagonal ZnS）可根据工艺需求选择
● 尺寸范围： Ø25–300 mm（支持定制）
● 厚度： 2–6 mm
● 致密度： ≥ 95% 理论密度
● 制造工艺：
– 真空热压烧结（Hot Pressing）
– 热等静压（HIP）
– 冷等静压（CIP）
– 精密磨削、抛光与超声清洗
● 背板结构： Cu、Ti、Indium Bonding（铟焊）
● 外观： 近白色或浅灰色陶瓷质感
● 适用工艺： RF / DC 磁控溅射、E-beam 蒸发、PLD
ZnS 靶材表面可做精抛光，提高薄膜均匀性并减少颗粒产生。
● 光学镀膜（Optical Coatings）
ZnS 是红外窗口和透镜涂层中最常见的材料之一，具有宽波段透光与低吸收特性。
● 防反射膜（Anti-Reflection Films）
与 ZnSe、MgF₂、YF₃ 等搭配形成多层抗反射结构。
● 红外与激光光学器件
用于 IR 透过膜、激光保护膜、光学滤光片。
● 显示与成像技术
包括 OLED、微显示、AR/VR 光学组件。
● 介质层薄膜（Dielectric Layers）
用于半导体、MEMS 以及微纳器件中。
● 薄膜传感器与光电元件
ZnS 的可控折射率适用于调谐型光电结构。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.999% | 纯度越高，薄膜吸收越低 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 兼容主流溅射设备 |
| 厚度 | 2–6 mm | 可根据应用调整 |
| 结构 | Cubic / Hexagonal | 不同相结构影响薄膜折射率 |
| 致密度 | ≥95% 理论密度 | 高致密减少颗粒喷射 |
| 背板 | Cu / Ti / In Bonding | 增强散热，提升稳定性 |
| 材料 | 性能特点 | 常见应用 |
|---|---|---|
| ZnS | 透光性高，折射率合适 | 光学镀膜、红外窗口 |
| ZnSe | 高红外透过率 | IR 光学器件、CO₂ 激光 |
| MgF₂ | 折射率低 | 防反射膜 |
| YF₃ | 抗潮性佳 | 激光器、IR 保护膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| ZnS 溅射用 RF 还是 DC？ | 推荐 RF，粉化更少且成分保持更好。 |
| ZnS 是否容易吸潮？ | ZnS 稍有吸潮性，建议真空密封存放。 |
| ZnS 可用于 E-beam 蒸发吗？ | 可以，是光学镀膜中常见的蒸发材料之一。 |
| 能否提供立方相或六方相？ | 可根据工艺需求提供不同晶相。 |
| 会不会产生颗粒？ | 高致密靶材与低能量工艺能显著减少颗粒。 |
| 是否支持复合靶材？ | 可提供 ZnS–SiO₂、ZnS–MgF₂ 等复合靶材。 |
| 是否支持小尺寸样品？ | 可提供 ≤1 英寸科研级小尺寸靶材。 |
● 单片真空密封
● 防静电袋 + 防震泡棉
● 出口级木箱保护
● 附带纯度报告、密度检测、尺寸检测
● 批次编号全程可追溯
硫化锌靶材（ZnS）因其优异的光学性能和化学稳定性，是光学镀膜、红外光学器件和先进显示技术中的关键沉积材料。苏州科跃材料科技有限公司为您提供高纯度、高致密度、尺寸可定制的 ZnS 溅射靶材，适用于科研与产业化薄膜生产。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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