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硫化铬(CrS)是一种过渡金属硫化物材料,具有优良的化学稳定性、耐腐蚀性、热稳定性以及可调的光学与电学特性。CrS 作为功能薄膜材料,在光学镀膜、耐磨防护层、润滑薄膜、半导体界面层及先进材料研究中具有重要应用价值。
高纯 CrS 溅射靶材拥有低杂质含量、稳定的溅射速率、低颗粒生成(Low Particle)与良好的薄膜均匀性,非常适合用于科研级磁控溅射、真空镀膜设备及工业级功能薄膜制备。
CrS 溅射靶材通常采用真空烧结(Vacuum Sintering)、热压(HP)或热等静压(HIP)工艺制备,以确保材料具有高致密度与均匀化合物结构。
● 化学式: CrS
● 可能晶型: 六方或立方型(视配比与工艺而定)
● 纯度: 99%–99.9%(2N–3N)
● 密度: ≥90–95% 理论密度
● 尺寸: Ø25–Ø300 mm 或定制矩形靶
● 厚度: 3–6 mm(可定制更薄或更厚)
● 制造工艺: Vacuum Sintering / HP / HIP
● 背板选项: Cu / Ti / Mo 背板,支持铟焊接
● 外观: 深灰或黑色致密化合物表面
高致密 CrS 靶材能有效减少针孔裂纹与颗粒,提升薄膜性能与一致性。
硫化铬薄膜具有耐腐蚀、耐磨损、稳定性高等特性,在多种领域中有实际应用:
高摩擦部件防护层
工具和模具表面强化
抗腐蚀功能涂层
CrS 具有良好低摩擦性能
用于真空环境和高温工况的润滑涂层
类似 MoS₂、WS₂ 的功能替代材料
功能界面层
电极缓冲层
Cr–S 系半导体结构研究
近红外吸收薄膜
多层干涉结构中的吸收/调控层
光学保护涂层
| 参数 | 典型范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99–99.9% | 影响薄膜光学、电学性能 |
| 密度 | ≥90–95% TD | 高致密性可减少颗粒并提升成膜一致性 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 可按镀膜设备规格定制 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可根据功率与寿命需求调整 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / Indium Bonding | 用于提升散热与结构稳定性 |
| 稳定性 | 优异 | 抗腐蚀、耐热,适合各类薄膜工艺 |
| 材料 | 特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| CrS | 耐磨、耐腐蚀、稳定性高 | 涂层、光学膜、界面层 |
| Cr₂S₃ | 更高硫含量、光学响应可调 | 光电应用、功能薄膜 |
| MoS₂ | 优异润滑性 | 摩擦学与电子器件 |
| WS₂ | 高温稳定的润滑材料 | 真空润滑与防护薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CrS 可使用 RF 溅射吗? | 可以,作为非金属化合物,RF 更为常用。 |
| 是否需要背板? | 大尺寸靶材建议使用 Cu 或 Ti 背板提升散热与强度。 |
| CrS 是否容易氧化? | 稳定性好,但建议干燥密封保存。 |
| 溅射 CrS 薄膜是否产生颗粒? | 使用 HIP 高致密靶材可显著降低颗粒。 |
| 可否进行共溅射? | 可以,可与 Cr、S、MoS₂ 等材料组合应用。 |
| 是否支持 5N 超高纯度? | 可定制,需提前确认交期与成本。 |
真空密封袋包装
干燥剂防潮保护
四周防震泡棉
出口级抗冲击木箱
每片靶材附 COA 与批号追踪
确保 CrS 靶材在运输与储存过程中维持最佳状态。
硫化铬靶材(CrS)凭借其优异的耐腐蚀性、热稳定性与功能薄膜性能,在耐磨涂层、固体润滑、光学薄膜和半导体工艺中具有重要价值。高纯、高致密 CrS 靶材可显著提升薄膜质量,是科研和工业溅射应用的理想材料。
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