硫化铬靶材(CrS)

硫化铬靶材(CrS)

产品简介(Introduction)

硫化铬(CrS)是一种过渡金属硫化物材料,具有优良的化学稳定性、耐腐蚀性、热稳定性以及可调的光学与电学特性。CrS 作为功能薄膜材料,在光学镀膜、耐磨防护层、润滑薄膜、半导体界面层及先进材料研究中具有重要应用价值。

高纯 CrS 溅射靶材拥有低杂质含量、稳定的溅射速率、低颗粒生成(Low Particle)与良好的薄膜均匀性,非常适合用于科研级磁控溅射、真空镀膜设备及工业级功能薄膜制备。


产品详情(Detailed Description)

CrS 溅射靶材通常采用真空烧结(Vacuum Sintering)、热压(HP)或热等静压(HIP)工艺制备,以确保材料具有高致密度与均匀化合物结构。

化学式: CrS
可能晶型: 六方或立方型(视配比与工艺而定)
纯度: 99%–99.9%(2N–3N)
密度: ≥90–95% 理论密度
尺寸: Ø25–Ø300 mm 或定制矩形靶
厚度: 3–6 mm(可定制更薄或更厚)
制造工艺: Vacuum Sintering / HP / HIP
背板选项: Cu / Ti / Mo 背板,支持铟焊接
外观: 深灰或黑色致密化合物表面

高致密 CrS 靶材能有效减少针孔裂纹与颗粒,提升薄膜性能与一致性。


应用领域(Applications)

硫化铬薄膜具有耐腐蚀、耐磨损、稳定性高等特性,在多种领域中有实际应用:

● 耐磨防护涂层

  • 高摩擦部件防护层

  • 工具和模具表面强化

  • 抗腐蚀功能涂层

● 固体润滑薄膜

  • CrS 具有良好低摩擦性能

  • 用于真空环境和高温工况的润滑涂层

  • 类似 MoS₂、WS₂ 的功能替代材料

● 半导体与电子薄膜

  • 功能界面层

  • 电极缓冲层

  • Cr–S 系半导体结构研究

● 光学薄膜

  • 近红外吸收薄膜

  • 多层干涉结构中的吸收/调控层

  • 光学保护涂层


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型范围 说明
纯度 99–99.9% 影响薄膜光学、电学性能
密度 ≥90–95% TD 高致密性可减少颗粒并提升成膜一致性
尺寸 Ø25–Ø300 mm 可按镀膜设备规格定制
厚度 3–6 mm 可根据功率与寿命需求调整
背板 Cu / Ti / Mo / Indium Bonding 用于提升散热与结构稳定性
稳定性 优异 抗腐蚀、耐热,适合各类薄膜工艺

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 典型应用
CrS 耐磨、耐腐蚀、稳定性高 涂层、光学膜、界面层
Cr₂S₃ 更高硫含量、光学响应可调 光电应用、功能薄膜
MoS₂ 优异润滑性 摩擦学与电子器件
WS₂ 高温稳定的润滑材料 真空润滑与防护薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
CrS 可使用 RF 溅射吗? 可以,作为非金属化合物,RF 更为常用。
是否需要背板? 大尺寸靶材建议使用 Cu 或 Ti 背板提升散热与强度。
CrS 是否容易氧化? 稳定性好,但建议干燥密封保存。
溅射 CrS 薄膜是否产生颗粒? 使用 HIP 高致密靶材可显著降低颗粒。
可否进行共溅射? 可以,可与 Cr、S、MoS₂ 等材料组合应用。
是否支持 5N 超高纯度? 可定制,需提前确认交期与成本。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封袋包装

  • 干燥剂防潮保护

  • 四周防震泡棉

  • 出口级抗冲击木箱

  • 每片靶材附 COA 与批号追踪

确保 CrS 靶材在运输与储存过程中维持最佳状态。


结论(Conclusion)

硫化铬靶材(CrS)凭借其优异的耐腐蚀性、热稳定性与功能薄膜性能,在耐磨涂层、固体润滑、光学薄膜和半导体工艺中具有重要价值。高纯、高致密 CrS 靶材可显著提升薄膜质量,是科研和工业溅射应用的理想材料。

如需技术规格、报价或定制服务,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com