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硫化铜靶材（CuS）是一种具有良好光吸收特性、稳定电化学性能及可调导电性的硫族化合物薄膜材料。CuS 属于 p 型半导体，具有较高的载流子浓度和优异的光热转换能力，在光电探测器、薄膜太阳能电池、红外吸收膜、催化电极及功能涂层等领域应用广泛。
在磁控溅射工艺中，高纯度、高致密度的 CuS 靶材能够沉积出均匀致密、吸光性强、附着力良好的薄膜，可满足科研与产业化薄膜制备需求。
● 纯度等级： 99.9% – 99.999%
● 可定制相态： CuS（辉铜矿结构）、Cu₂S（可选）
● 尺寸范围： Ø25–300 mm（支持所有规格定制）
● 厚度： 2–6 mm 或按需加工
● 致密度： ≥ 95% 理论密度
● 制造工艺：
– 真空热压烧结（Hot Pressing）
– 冷等静压（CIP）
– 热等静压（HIP）提高致密度
– 精密机加工、倒角、抛光
● 背板可选： Cu / Ti / 铟焊（Indium Bonding）
● 适用系统： RF / DC 磁控溅射、离子束溅射、多腔室 PVD
CuS 靶材具有良好的化学稳定性，不易在溅射过程中发生严重分解或成分偏析。
● 光电探测器（Photodetectors）
CuS 的强吸光能力适合可见光至红外波段。
● 薄膜太阳能电池（Solar Cells）
用于 CIGS、CZTS 结构的辅助层或吸收层。
● 红外吸收膜（IR Absorber Films）
CuS 的高光热性能使其适用于红外吸收与转换薄膜。
● 催化与电化学电极（Catalyst / Electrode）
CuS 可用于电催化反应、电极功能层与能源转换系统。
● 抗菌及光热薄膜
CuS 的光热效应可用于医疗与材料功能表面处理。
● 多层复合结构
可与 ZnS、ZnSe、MoS₂ 等材料组合，形成具有特定带隙或光学功能的复合膜。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.999% | 纯度越高，电学/光学性能越稳定 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 适配商业级与科研级设备 |
| 厚度 | 2–6 mm | 可按目标溅射寿命设计 |
| 致密度 | ≥95% | 减少颗粒喷射、提升膜层稳定性 |
| 成分比 | CuS / Cu₂S | 可按应用需求定制 |
| 背板 | Cu / Ti / Indium Bonding | 改善散热及应力管理 |
| 材料 | 特性 | 常见应用 |
|---|---|---|
| CuS | 强吸光、p 型半导体 | 光电探测、光热膜、太阳能电池 |
| Cu₂S | 导电性更高 | 薄膜电极、能源材料 |
| CuSe | 光吸收更宽波段 | 光伏 & 红外薄膜 |
| ZnS | 低吸收、高透光 | 光学镀膜 |
| MoS₂ | 层状结构、固体润滑 | 2D 器件与摩擦膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CuS 靶材适合 RF 还是 DC？ | 建议 RF，可减少成分分离与粉化。 |
| 溅射 CuS 是否需要气氛控制？ | 一般 Ar 即可，如需调控载流子可搭配少量 H₂ 或 N₂。 |
| CuS 是否容易氧化？ | 略敏感，建议干燥环境储存。 |
| 能否做 Cu-rich 或 S-rich 配比？ | 可以完全定制化学计量。 |
| 薄膜表面是否会粗糙？ | 使用高致密靶材可显著降低粗糙度。 |
| 是否支持小尺寸靶材？ | 可提供 ≤1 英寸样品规格。 |
● 单片真空密封
● 防静电袋 & 防震泡棉
● 出口级木箱保护
● 附纯度检测报告、尺寸检测、批次追踪码
硫化铜靶材（CuS）凭借其独特的光学、电学与光热特性，在光电探测、薄膜太阳能电池、红外吸收膜与催化薄膜中具有重要地位。苏州科跃材料科技有限公司可为您提供高纯度、高致密度、可定制的 CuS 系列靶材，满足从科研到产业化的不同薄膜制备需求。
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