硫化磷靶材（PS）

产品简介（Introduction）

硫化磷（PS）是一类由磷（P）与硫（S）构成的非晶或多相化合物材料，具有独特的离子迁移特性、光吸收特性与化学反应活性。由于其轻元素结构、较低密度与可调电子性质，PS 在 固态电解质、光电薄膜、化学传感器、储能材料与表面功能涂层 等方向逐渐受到关注。

硫化磷靶材（PS Sputtering Target）适用于磁控溅射沉积多功能 PS 薄膜，可形成均匀、致密、表面能可调的薄膜结构，广泛应用于学术研究与先进功能材料开发。

产品详情（Detailed Description）

PS 靶材通常通过以下工艺制备：

• 元素磷与硫直接固相合成（Sealed Ampoule Reaction）

• 均匀熔融–淬火玻璃化（Melt-Quench）

• 固相烧结（Solid-State Sintering）

• 冷等静压（CIP）+ 热压致密化（HP）

典型规格：

• 纯度：99.9% – 99.99%（3N–4N）

• 化学计量比：P:S ≈ 1:1（可提供 P-rich 或 S-rich）

• 外观：深灰 / 黑棕色非晶质或陶瓷质材料

• 致密度：≥93–97% TD

• 尺寸：直径 25–300 mm，可提供矩形靶

• 厚度：3–6 mm

• 背板选择：Cu / Ti / Mo / In bonding

材料特点：

• 溅射成分均匀性佳

• 可形成非晶或纳米结构薄膜

• 适用于低温沉积

• 轻元素体系，不产生金属颗粒污染

• 可用于离子导电薄膜或光敏层

应用领域（Applications）

● 固态电解质薄膜（Solid-State Electrolyte Films）

PS 与其他硫化物类似，具有良好的离子导电潜力，可用于：

• 固态电池隔膜薄膜

• 锂/钠离子导电层

• 多层固态电解质结构

• 界面稳定层（Interface Buffer Layer）

可与 Li₂S、P₂S₅ 系材料组合研究。

● 光学与光电薄膜（Optoelectronic Films）

PS 薄膜具有可调光学吸收特性，用于：

• 光敏薄膜

• 红外吸收层

• 光催化辅助层

• 光功能界面层

在光储能、光响应材料中具有研究价值。

● 传感器与表面功能薄膜（Sensors & Functional Coatings）

PS 具有较高的化学反应性，可用作：

• 气体传感膜（尤其对含硫或含氧分子敏感）

• 表面润湿性调控层

• 表面能工程薄膜

• 等离子体蚀刻辅助层

● 储能与电化学薄膜（Energy Storage Films）

PS 可用于：

• 硫化物电极材料研究

• 多相复合电极结构

• 固液界面调控膜

• 电极保护层（防止副反应）

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装与交付（Packaging）

• 真空密封 + 铝塑复合袋

• 防静电泡棉保护

• 防震外箱或木箱

• 提供 ICP / XRD / 密度 / 外观检测报告

结论（Conclusion）

硫化磷靶材（PS）具有独特的化学与物理特性，在固态电解质、光电薄膜、传感器与能源材料研究领域具有重要应用潜力。使用高纯、高致密 PS 靶材，可显著提高薄膜均匀性、稳定性与研究可靠性，是先进材料研发不可或缺的选择。

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