硒化锰靶材(MnSe)

硒化锰靶材(MnSe)

产品简介(Introduction)

硒化锰(MnSe)是一种重要的过渡金属硫属化物材料,具有独特的电、磁、光特性,以及宽禁带半导体特征。MnSe 在磁光材料、自旋电子学、红外探测、铁磁半导体及新型量子材料研究中具有重要地位。其薄膜在电学、磁性与光学响应方面表现稳定,适用于先进功能薄膜器件制备。

硒化锰靶材(MnSe Sputtering Target)专为磁控溅射设计,能够稳定制备高一致性、低颗粒、成分均匀的 MnSe 功能薄膜。


产品详情(Detailed Description)

MnSe 靶材通常采用以下制备工艺:

  • Mn + Se 高纯原料直接反应合成(Direct Synthesis)

  • 固相反应烧结(Solid-State Reaction)

  • 真空热压烧结(Hot Pressing, HP)

  • CIP 冷等静压成型 + 高温致密化

典型规格:

  • 纯度:99.9% – 99.99%(3N–4N)

  • 化学计量比:Mn:Se = 1:1(可调 Mn-rich / Se-rich)

  • 颜色外观:黑灰–深灰色陶瓷外观

  • 致密度:≥95–98% TD

  • 尺寸:直径 25–300 mm、矩形靶可定制

  • 厚度:3–6 mm

  • 背板结合(可选):铜(Cu)/ 钛(Ti)/ 钼(Mo)/ 铟焊(In)

材料特性:

  • 磁性与电学响应可调

  • 薄膜致密、均匀,无明显颗粒

  • 适用于 RF、Pulsed DC 溅射

  • 适合高真空与超高真空环境


应用领域(Applications)

● 磁性薄膜与自旋电子学(Magnetic & Spintronic Films)

MnSe 具有反铁磁-铁磁转变特性,是研究磁调控与自旋传输的重要材料:

  • 自旋过滤器

  • 磁性隧穿结(MTJ)界面层

  • 铁磁半导体结构

  • 自旋极化材料研究


● 宽禁带半导体薄膜(Wide-Bandgap Semiconductors)

MnSe 适合作为:

  • 功能半导体薄膜

  • 电学调控薄膜

  • 阻变存储(RRAM)功能层

  • 光电界面层


● 红外与光学薄膜(Infrared & Optical Films)

MnSe 的光响应特性适用于:

  • IR 吸收薄膜

  • 红外调制器件

  • 光电增强材料

  • 红外敏感层结构


● 量子材料与基础研究(Quantum & Fundamental Materials)

MnSe 用于:

  • 强关联电子体系研究

  • Mn 系列磁性半导体对比研究(MnTe、MnSe、MnS)

  • 外延薄膜构建(MBE/PLD)

  • 掺杂与缺陷态调控


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 说明
纯度 99.9–99.99% 高纯度降低薄膜缺陷
成分 MnSe(可偏 Mn / Se) 支持科研配比调整
致密度 ≥95–98% TD 致密靶材可提高膜层稳定性
尺寸 25–300 mm 适配各种溅射腔体
厚度 3–6 mm 决定溅射寿命与速率
背板 Cu / Ti / Mo / In 提升散热与抗裂性能
溅射方式 RF / Pulsed DC 化合物靶材推荐 RF
制程 HP / CIP / Vacuum Sintering 保证结构均匀性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特性 应用方向
MnSe 磁性 + 宽禁带半导体 自旋电子、IR、功能薄膜
MnTe 强磁性,更强自旋耦合 自旋电子、薄膜量子材料
MnS 光学行为稳定 光学薄膜、功能涂层
ZnSe 透明光学材料 光学窗口、激光薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
MnSe 靶材溅射方式? RF / Pulsed DC。
是否支持偏化学计量? 可定制 Mn-rich 或 Se-rich。
可用于 PLD 吗? 是,提供 PLD/MBE 版本。
MnSe 是否适合磁性研究? 是,其磁相变特性非常关键。
是否支持大尺寸靶? 最大可提供 12 英寸。
是否易氧化? 相对稳定,但仍建议真空封装保存。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封,防氧化

  • 防静电袋 + 泡棉双层保护

  • 外层抗震加固包装

  • 随货附 ICP / XRD / 密度报告


结论(Conclusion)

硒化锰靶材(MnSe)凭借其磁性、半导体特性与光学响应,是自旋电子学、红外光电、功能薄膜及量子材料研究中的重要材料。高纯高致密 MnSe 靶材能提升薄膜均匀性与器件性能,是科研和先进薄膜制备的理想选择。

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📩 sales@keyuematerials.com