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硒化锰(MnSe)是一种重要的过渡金属硫属化物材料,具有独特的电、磁、光特性,以及宽禁带半导体特征。MnSe 在磁光材料、自旋电子学、红外探测、铁磁半导体及新型量子材料研究中具有重要地位。其薄膜在电学、磁性与光学响应方面表现稳定,适用于先进功能薄膜器件制备。
硒化锰靶材(MnSe Sputtering Target)专为磁控溅射设计,能够稳定制备高一致性、低颗粒、成分均匀的 MnSe 功能薄膜。
MnSe 靶材通常采用以下制备工艺:
Mn + Se 高纯原料直接反应合成(Direct Synthesis)
固相反应烧结(Solid-State Reaction)
真空热压烧结(Hot Pressing, HP)
CIP 冷等静压成型 + 高温致密化
典型规格:
纯度:99.9% – 99.99%(3N–4N)
化学计量比:Mn:Se = 1:1(可调 Mn-rich / Se-rich)
颜色外观:黑灰–深灰色陶瓷外观
致密度:≥95–98% TD
尺寸:直径 25–300 mm、矩形靶可定制
厚度:3–6 mm
背板结合(可选):铜(Cu)/ 钛(Ti)/ 钼(Mo)/ 铟焊(In)
材料特性:
磁性与电学响应可调
薄膜致密、均匀,无明显颗粒
适用于 RF、Pulsed DC 溅射
适合高真空与超高真空环境
MnSe 具有反铁磁-铁磁转变特性,是研究磁调控与自旋传输的重要材料:
自旋过滤器
磁性隧穿结(MTJ)界面层
铁磁半导体结构
自旋极化材料研究
MnSe 适合作为:
功能半导体薄膜
电学调控薄膜
阻变存储(RRAM)功能层
光电界面层
MnSe 的光响应特性适用于:
IR 吸收薄膜
红外调制器件
光电增强材料
红外敏感层结构
MnSe 用于:
强关联电子体系研究
Mn 系列磁性半导体对比研究(MnTe、MnSe、MnS)
外延薄膜构建(MBE/PLD)
掺杂与缺陷态调控
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 高纯度降低薄膜缺陷 |
| 成分 | MnSe(可偏 Mn / Se) | 支持科研配比调整 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 致密靶材可提高膜层稳定性 |
| 尺寸 | 25–300 mm | 适配各种溅射腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定溅射寿命与速率 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热与抗裂性能 |
| 溅射方式 | RF / Pulsed DC | 化合物靶材推荐 RF |
| 制程 | HP / CIP / Vacuum Sintering | 保证结构均匀性 |
| 材料 | 特性 | 应用方向 |
|---|---|---|
| MnSe | 磁性 + 宽禁带半导体 | 自旋电子、IR、功能薄膜 |
| MnTe | 强磁性,更强自旋耦合 | 自旋电子、薄膜量子材料 |
| MnS | 光学行为稳定 | 光学薄膜、功能涂层 |
| ZnSe | 透明光学材料 | 光学窗口、激光薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| MnSe 靶材溅射方式? | RF / Pulsed DC。 |
| 是否支持偏化学计量? | 可定制 Mn-rich 或 Se-rich。 |
| 可用于 PLD 吗? | 是,提供 PLD/MBE 版本。 |
| MnSe 是否适合磁性研究? | 是,其磁相变特性非常关键。 |
| 是否支持大尺寸靶? | 最大可提供 12 英寸。 |
| 是否易氧化? | 相对稳定,但仍建议真空封装保存。 |
真空密封,防氧化
防静电袋 + 泡棉双层保护
外层抗震加固包装
随货附 ICP / XRD / 密度报告
硒化锰靶材(MnSe)凭借其磁性、半导体特性与光学响应,是自旋电子学、红外光电、功能薄膜及量子材料研究中的重要材料。高纯高致密 MnSe 靶材能提升薄膜均匀性与器件性能,是科研和先进薄膜制备的理想选择。
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