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硒化铜铟(CuInSe 或 CIS)是一类常见的 I–III–VI₂ 族化合物半导体材料,具有优异的光吸收能力、可调带隙结构以及高稳定性,是制备高性能薄膜光伏器件、光电探测器及功能薄膜的重要材料。高纯 CIS 溅射靶材在薄膜制备过程中具有稳定的溅射速率、高致密性与良好成膜均匀性,广泛用于科研与先进制造环境。
CuInSe 靶材主要通过真空烧结(Vacuum Sintering)、热压(Hot Pressing)或热等静压(HIP)工艺制备,以确保化合物均匀性与优异的薄膜性能。
● 化学式: CuInSe、CuInSe₂
● 纯度: 99.9%–99.999%(3N–5N)
● 尺寸: Ø25–Ø300 mm 圆靶、矩形靶均可定制
● 厚度: 3–6 mm(可根据设备需求调整)
● 密度: ≥95% 理论密度
● 加工工艺: Vacuum Sintering / HP / HIP
● 背板选择: Cu、Ti、Al 或铟焊接(Indium Bonding)
● 外观: 深灰色且细腻的均质化合物表面
高致密 CuInSe 靶材可有效减少颗粒(Particles)、提升薄膜结晶性,并增强薄膜在器件应用中的光电稳定性。
CuInSe 溅射靶材主要用于光伏薄膜、电光器件以及先进材料研究领域。
高吸收系数
可通过组成调控能带结构
用于高光电转换效率的吸收层材料
中红外与可见光探测
高灵敏度光吸收层
温度敏感/光敏薄膜结构
通过 CIS 溅射可实现:
半导体缓冲层
电极界面层
复合异质结结构(如 CuInSe₂/CdS)
非化学反应型沉积路线
成分精准可控
可用于共溅射制备多元材料(如 CIGS 薄膜基础研究)
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.999% | 决定薄膜缺陷密度与光电性能 |
| 密度 | ≥95% TD | 高致密性降低颗粒与针孔 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 适配科研到产业的多种设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响靶材寿命与沉积效率 |
| Cu:In:Se 比例 | 可定制化学计量比 | 满足不同光学、电学需求 |
| 背板结合 | Cu/Ti/Indium | 提升散热与结构稳定性 |
| 材料 | 优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| CuInSe | 良好光吸收,可调能带 | 薄膜光伏、光电探测 |
| CuInSe₂ | 更高光吸收与晶体质量 | 高性能 CIS/CIGS 光伏 |
| CuGaSe₂ | 调节带隙,提升 Voc | 多结太阳能电池 |
| CuInS₂ | 更环保的无硒体系 | 光伏与光致发光材料 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CuInSe 是否适合 DC 或 RF 溅射? | 两者均可,RF 更适用于非纯金属导电特性材料。 |
| 能否按化学计量比定制成分? | 是,可根据 Cu/In/Se 比例进行配方设计。 |
| CuInSe 薄膜是否需要基底加热? | 适度加热有助提升薄膜结晶性与电学性能。 |
| 可否用于太阳能电池研究? | 可以,是 CIS 系光伏材料的核心组成之一。 |
| 靶材是否需要背板? | 大尺寸靶材建议采用铜背板以提升散热效率。 |
| 存储是否需要真空? | 建议真空密封存储,避免潮湿影响。 |
所有 CuInSe 靶材均经过严格检测,包括密度、成分、纯度及外观检查,并采用:
真空密封包装
防震泡棉保护
国际运输专用木箱
确保运输过程中无污染、无损伤。
硒化铜铟溅射靶材(CuInSe)凭借可调能带、优异光吸收、高稳定性等优势,广泛用于光伏、电光功能薄膜及新材料研究。高纯高致密靶材可确保制程稳定性与薄膜质量,是科研与工业制程的优良选择。
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