您可以向我们发送询盘,以获取更多信息和最新价格。
砷化锡(SnAs)是一种 IV–V 族化合物,由锡(Sn)与砷(As)构成,具有独特的半金属/半导体特性、稳定的晶体结构和良好的电学性能。近年来,SnAs 在红外探测、新型半导体薄膜、热电材料以及量子材料研究领域受到广泛关注,成为先进功能薄膜中的重要候选材料。
砷化锡靶材(SnAs Sputtering Target)可通过磁控溅射沉积致密、均匀的 SnAs 薄膜,常用于光电器件、红外敏感器件、电子结构调控、热电薄膜以及多层功能结构研究。
SnAs 靶材通常采用以下工艺制备:
高纯 Sn + 高纯 As 的密闭合成(Direct Synthesis in Sealed Ampoule)
固相反应烧结(Solid-State Reaction)
真空热压烧结(Vacuum Hot Pressing,HP)
CIP + 高温致密化(Cold Isostatic Pressing)
典型产品参数:
纯度:99.9%(3N)– 99.999%(5N)
化学计量比:Sn:As = 1:1(可定制偏 Sn 或偏 As 配比)
颜色:灰黑色/深灰色陶瓷状外观
致密度:≥95%–98% TD
晶体结构:可能呈现金属化或半导体行为(随化学计量改变)
尺寸:直径 25–300 mm 或矩形靶可定制
厚度:3–6 mm
背板结合(可选):Cu / Ti / Mo / Indium bonding
材料优势:
高稳定性、低氧含量
薄膜成分均匀、颗粒少
支持高功率 RF / Pulsed DC 溅射
兼容中真空与超高真空系统
可形成良好平整度的薄膜界面
SnAs 的可调带隙、良好的红外吸收效率和电子行为使其适合:
SWIR/MWIR 探测器
红外成像系统
光敏薄膜结构
中红外调控器件
可作为传统砷化物(如 GaAs、InAs)的补充材料。
SnAs 属于 Sn–As 系热电材料体系,可用于:
微型热电发电器
温差能量采集装置
低维热电结构研究
此类薄膜可进一步用于柔性或集成能源器件。
SnAs 可用作:
异质结界面层
载流子调控层
光学吸收层
多层结构中的中间层
可与 GaSb、InAs、GeAs 等材料形成能带梯度结构。
SnAs 因其可能表现出拓扑相、半金属特性等,被广泛用于:
拓扑材料研究
低维量子薄膜
强关联电子体系实验
量子器件原型验证
适合:
Sn–As 化合物体系探索
相稳定性与晶体结构调控
薄膜电子/光学特性研究
高性能溅射薄膜工程
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 3N–5N | 高纯度提升薄膜性能 |
| 化学成分 | SnAs(可调偏 As / 偏 Sn) | 支持科研配比定制 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 降低溅射颗粒 |
| 尺寸 | 25–300 mm 圆靶 / 矩形靶 | 适配主流腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响靶寿命与沉积速率 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo / In | 增强机械稳定性与散热 |
| 溅射方式 | RF、Pulsed DC | 陶瓷化靶材推荐 RF |
| 制造工艺 | HP / CIP / Solid-State | 决定微结构一致性 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| SnAs | 半金属/半导体行为 | 红外、热电、量子材料 |
| GaAs | 直接带隙 | 光通信、光电器件 |
| InAs | 高迁移率、窄带隙 | SWIR/MWIR 探测 |
| GeAs | 可调电子结构 | 功能薄膜与界面工程 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SnAs 靶材适用于哪些溅射方式? | RF、Pulsed DC,DC 可搭配中间层。 |
| 可否定制化学计量? | 可以,Sn-rich / As-rich 均可制作。 |
| SnAs 薄膜是否具备红外响应? | 具备较强红外吸收能力。 |
| 是否支持大尺寸靶材? | 可提供 8–12 英寸靶材。 |
| SnAs 靶材是否易吸湿? | 相比单质砷更稳定,但建议真空密封保存。 |
| 可否制作 PLD 靶材? | 支持 PLD/MBE 定制版本。 |
| 薄膜颗粒率如何? | 高致密度靶材颗粒率极低,适用于洁净室工艺。 |
真空密封防氧化
防静电袋洁净包装
多层防震结构
出口级木箱运输
提供检测报告(纯度/密度/成分/XRD)
确保材料在运输与储存过程中的稳定性与洁净度。
砷化锡靶材(SnAs)凭借其独特的半金属性能、稳定的结构与优良光电特性,是红外探测、热电薄膜、新型半导体与量子材料研究中的关键功能薄膜材料。采用高致密、高纯度的 SnAs 靶材,可显著提升薄膜质量,是科研机构与先进器件开发的重要选择。
如需进一步技术资料或获取报价,请联系:
📩 sales@keyuematerials.com
您可以向我们发送询盘,以获取更多信息和最新价格。

苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
Copyright © 苏州科跃材料有限公司 苏ICP备2025199279号-1