氮化锆靶材（ZrN）

产品简介（Introduction）

氮化锆（ZrN）是一种典型的过渡金属氮化物材料，兼具高硬度、高熔点、优异的化学稳定性以及良好的导电性和装饰性外观。ZrN 薄膜在耐磨涂层、装饰镀膜、扩散阻挡层以及电子与光学功能薄膜中得到广泛应用。

作为磁控溅射靶材，ZrN 能够在受控氮气气氛中沉积出致密、低应力、附着力强的金黄色或金属色氮化物薄膜，在工业镀膜和科研领域均具有成熟应用。

产品详情（Detailed Description）

• 化学式： ZrN

• 纯度： 99.5% – 99.99%

• 外观： 灰金色 / 金属陶瓷质感（靶材本体呈深灰色）

• 尺寸范围： Ø25–300 mm（支持方形、矩形、异形定制）

• 厚度： 2–8 mm（可定制）

• 致密度： ≥95% 理论密度（可提供高致密版）

• 制造工艺：

  • 高纯 Zr 粉末氮化反应

  • 冷等静压（CIP）或热压烧结（HP）

  • 真空烧结 / 热等静压（HIP，可选）

  • 精密研磨、倒角与清洗

• 背板选项： Cu / Ti / 铟焊（Indium Bonding）

• 适用工艺： DC 磁控溅射、RF 磁控溅射、反应溅射（Zr + N₂）

说明：ZrN 属于导电型陶瓷靶材，在 DC 溅射中表现稳定，适合工业连续沉积。

应用领域（Applications）

• 耐磨与硬质涂层（Hard Coatings）
  用于刀具、模具、机械零部件表面，提高耐磨性与使用寿命。

• 装饰镀膜（Decorative Coatings）
  ZrN 薄膜呈金黄色，常用于建筑五金、钟表、卫浴及装饰件。

• 半导体与微电子
  用作扩散阻挡层、导电功能层或保护涂层。

• 光学与反射薄膜
  用于红外反射膜及特定光学功能层。

• 科研与功能薄膜研究
  用于高温、耐腐蚀及多层结构材料研究。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

• ZrN 适合 DC 还是 RF 溅射？
  DC 与 RF 均可，工业应用多采用 DC。

• ZrN 薄膜颜色是否可调？
  可通过 N₂ 流量、功率与基底温度调节色泽。

• 是否支持反应溅射？
  支持 Zr 金属靶 + N₂ 反应溅射。

• 是否建议使用背板？
  中高功率溅射强烈建议。

包装与交付（Packaging）

• 单片真空密封包装

• 防静电袋 + 防震泡棉

• 出口级木箱

• 提供纯度、尺寸与批次追溯文件

结论（Conclusion）

氮化锆靶材（ZrN）凭借其优异的机械性能、稳定的溅射行为及广泛的应用场景，是硬质涂层与功能薄膜领域的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可为您提供 高纯度、高致密度、全规格定制的 ZrN 溅射靶材，满足科研与工业沉积需求。

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