氧化镧锶靶材(LaSrO)

氧化镧锶靶材(LaSrO)

产品简介(Introduction)

氧化镧锶靶材(LaSrO)是一类稀土元素镧(La)与碱土金属锶(Sr)构成的复合氧化物靶材,属于重要的功能氧化物材料体系。在薄膜制备领域,La–Sr–O 系材料常用于制备介电薄膜、氧化物电子学结构、外延缓冲层、多层光电功能膜及电学性能调控薄膜。

得益于 La 与 Sr 的离子半径差异及晶格可调性,LaSrO 具有较高的化学稳定性、可调控的电学/介电性能及良好的薄膜兼容性,是科研与工程化应用中常用的关键功能薄膜材料。


产品详情(Detailed Description)

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的 LaSrO 溅射靶材,采用高纯原料经冷等静压(CIP)成型、高温固相烧结与精密研磨,使靶材具备优异的均匀性、机械稳定性与溅射寿命。

规格与制程:

  • 纯度等级: 99.9%(3N)– 99.99%(4N)

  • 尺寸范围: Ø25–Ø300 mm

  • 厚度: 3–6 mm,可按需定制

  • 化学计量比: La:Sr 比例可定制(如 1:1、2:1、非化学计量)

  • 制造工艺: CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨

  • 背板选项: Cu / Ti / Indium bonding(适合大尺寸散热控制)

  • 外观: 深灰–深黑色陶瓷体,高致密表面

材料优势:

  • 致密结构降低颗粒产生

  • 成分均匀,提高薄膜电学与介电稳定性

  • 可调节晶格参数,适用于外延薄膜与多层结构

  • 良好的热稳定性与机械强度


应用领域(Applications)

1. 氧化物电子学(Oxide Electronics)

  • 电阻式存储器(ReRAM)

  • 介电薄膜、绝缘层

  • 功能性氧化物界面工程

2. 外延薄膜(Epitaxial Films)

  • 外延缓冲层

  • 多层结构中的晶格匹配层

3. 光电功能薄膜(Optoelectronic Thin Films)

  • 光学调制层

  • 多层光学膜设计

4. 电学调控材料(Electronic Control Films)

  • 电导可调薄膜

  • 介电常数调控薄膜

5. 催化与气敏研究(Catalysis & Gas Sensing)

  • 氧空位材料研究

  • 气敏功能薄膜


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9%–99.99% 薄膜缺陷减少,电学/光学性能更稳定
密度 ≥ 90% 理论密度 高致密减少溅射颗粒
尺寸 Ø25–Ø300 mm 兼容各类溅射系统
厚度 3–6 mm 控制沉积速率与寿命
La:Sr 比例 可定制 影响薄膜晶格常数与电学性能
背板 Cu / Ti / In 焊接 提升散热与平整度
工艺 CIP + 烧结 + 精磨 获得致密、稳定的靶材结构

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 优势 应用
LaSrO 晶格可调、介电性能佳 外延薄膜、介电结构
La₂O₃ 高折射率、强介电性 光学薄膜、陶瓷材料
SrO / SrTiO₃ 强氧化物电子特性 外延、电子材料研究

常见问题(FAQ)

问题 答案
LaSrO 靶材适用于哪些溅射方式? RF、DC、脉冲 DC 磁控溅射均可。
可否定制 La:Sr 具体比例? 完全支持科研定制,如 La₀.₇Sr₀.₃O。
LaSrO 薄膜适合外延生长吗? 是,常用于外延缓冲层和界面工程。
是否需要背板? 大尺寸靶材建议 Cu/Ti 背板提升散热。
靶材会产生颗粒吗? 高致密度烧结显著降低颗粒风险。
是否支持阶梯靶? 支持,包括圆形、矩形、阶梯、分割靶。
是否可用于多层光学膜? 是,可作为折射率调控层。
储存是否需要干燥? 建议常温干燥环境密封保存。
是否提供分析报告? 可提供 XRD、SEM、EDS、密度等数据。
是否适合 ReRAM? 可作为电阻变化材料体系的一部分。

包装与交付(Packaging)

所有 LaSrO 靶材均经过严格检测,包括纯度、密度、尺寸公差、成分均匀性与显微结构,并贴附唯一追踪编号。
包装采用:

  • 真空密封

  • 防震泡沫保护

  • 出口级木箱
    确保运输过程安全、无污染、无破损。


结论(Conclusion)

氧化镧锶靶材(LaSrO)结合稀土与碱土氧化物的结构优势,是外延薄膜、电学功能薄膜、介电结构以及光电材料研究中的关键材料。苏州科跃提供高纯、高致密、可定制的 LaSrO 靶材,为科研与量产提供可靠材料解决方案。

如需更多技术参数或获取报价,请联系:
sales@keyuematerials.com