您可以向我们发送询盘，以获取更多信息和最新价格。
氧化镧蒸发材料采用高纯镧源制备的氧化物粉体，经受控氧化、精确成形与高温烧结工艺处理，确保材料致密、化学计量稳定，适用于高真空与高能束流沉积环境。
典型化学组成：LaO / La₂O₃（按应用需求提供）
纯度范围：99.9% – 99.99%（3N–4N）
材料形态：块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺：高纯粉体 → 成形 → 高温烧结
表面状态：致密、低吸附，适合高真空蒸发
高质量氧化镧蒸发材料有助于：
提升薄膜致密度与界面质量；
获得稳定一致的介电与光学性能；
降低蒸发过程中的成分与相态波动；
满足科研级与器件级对高可靠性薄膜的严格要求。
半导体与微电子：高-k 栅介质、缓冲层、界面工程
光学镀膜：稳定介质层、功能光学薄膜
功能氧化物薄膜：复合氧化物与多层结构基体
能源与电子材料：介电与功能层研究
科研实验：稀土氧化物、薄膜结构与物性研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | LaO / La₂O₃ | 决定介电与结构性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质缺陷 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 熔点 | >2300 °C（La₂O₃） | 适合高温蒸发 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 稀土氧化物常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化镧（LaO / La₂O₃） | 高介电、界面稳定 | 半导体介质层 |
| 氧化铈（CeO₂） | 氧化还原能力 | 功能氧化物薄膜 |
| 氧化钇（Y₂O₃） | 光学透明性好 | 光学介质层 |
| 氧化铝（Al₂O₃） | 工艺成熟 | 通用介质层 |
Q1：氧化镧蒸发材料适合哪种蒸发方式？
A：推荐电子束蒸发，也可在高温条件下进行热蒸发。
Q2：LaO 与 La₂O₃ 有何区别？
A：工程与应用中以 La₂O₃ 为主要稳定相；LaO 多用于特定研究体系或简化标识。
Q3：氧化镧薄膜适合半导体应用吗？
A：适合，常用于高-k 介质与界面工程。
Q4：沉积过程中是否需要控制氧分压？
A：建议控制，以确保薄膜化学计量与介电性能稳定。
Q5：氧化镧薄膜耐高温吗？
A：耐高温性能良好，适合多种工艺环境。
Q6：颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗？
A：会，均匀颗粒有助于稳定蒸发速率与膜厚控制。
Q7：是否适合科研级实验？
A：非常适合，是稀土氧化物研究中的常用材料。
Q8：材料如何储存？
A：建议真空密封保存，避免吸湿与表面碳酸化。
Q9：是否支持定制规格？
A：支持，可根据蒸发设备与工艺需求定制。
Q10：是否可提供其他镧基复合氧化物？
A：可提供 LaAlO₃、LaNbO₄、LaTaO₄ 等相关材料。
所有氧化镧蒸发材料（LaO）在出厂前均经过严格质量检测，并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲与出口级包装，确保运输与储存过程中材料洁净度、成分与蒸发性能稳定。
氧化镧蒸发材料（LaO / La₂O₃）凭借其高介电常数、优异的热化学稳定性与良好的界面兼容性，在半导体介质层、光学镀膜及功能氧化物薄膜领域中具有长期可靠的应用价值。对于追求高一致性、高可靠性与性能可控的薄膜沉积需求，氧化镧是一种成熟、稳健且应用广泛的稀土氧化物蒸发材料选择。
如需了解更多技术参数或获取报价，请联系：
sales@keyuematerials.com
您可以向我们发送询盘，以获取更多信息和最新价格。
苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
Copyright © 苏州科跃材料有限公司 苏ICP备2025199279号-1