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氧化锰钴靶材(MnCoO / Mn–Co–O)是一类过渡金属复合氧化物靶材,通常由氧化锰(MnOₓ)与氧化钴(CoOₓ)形成稳定固溶相。Mn–Co 系氧化物具有独特的电催化特性、良好的电导率调控能力以及对氧空位的高敏感性,因此广泛用于薄膜催化、电化学能量器件、光电材料、磁性薄膜以及氧化物电子学研究。
由于 MnCoO 具有化学稳定性高、成膜均匀性好、膜层功能可调控等特点,是科研机构与先进制造企业常用的功能氧化物薄膜材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密度的 MnCoO 溅射靶材,采用高纯粉体冷等静压(CIP)成型、高温烧结致密化,并进行精密研磨以确保表面光洁度和厚度均匀性。
规格参数:
纯度: 99.9% – 99.99%
形状: 圆形(Ø25–Ø300 mm),可定制矩形靶
厚度: 3–6 mm,可定制
成分比例: Mn:Co 可按需求调整
制造工艺: CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨
背板选择: Cu、Ti 或铟焊(In-Bonding)可选
工艺特点:
致密度高,减少溅射过程中颗粒产生
结构稳定,可保持成分均匀性
支持科研定制比例、外形与尺寸
良好的热稳定性与化学耐受性
MnCoO 靶材因其优异的电化学与电子结构,可用于多种先进薄膜应用,包括:
薄膜电催化材料(ORR / OER / HER)
薄膜电极层
锂电池与钠电池界面薄膜
氧化物电子学(Oxide Electronics)
功能性磁性薄膜
电阻调控材料(Memristor / ReRAM)
吸收层与调制层
多层光学结构
气敏薄膜(NO₂、O₂、CO 等)
可控氧空位的功能层
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 提升薄膜电化学性能与稳定性 |
| 密度 | ≥ 90% 理论密度 | 高致密减少颗粒、提升薄膜均匀性 |
| 尺寸 | Ø25–300 mm | 适配多数溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 根据沉积需求定制 |
| 成分 | Mn:Co 可定制 | 影响催化、电导与磁性 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊接 | 提升散热与溅射稳定性 |
| 工艺 | CIP + 烧结 + 精研 | 确保机械完整性与一致性 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| MnCoO | 催化性能强、电导可调 | 薄膜催化、电极材料 |
| MnOₓ | 氧化能力强、成本低 | 催化、气敏薄膜 |
| CoOₓ | 电化学活性高 | 电极薄膜、光电薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| MnCoO 可用于哪些溅射? | RF、DC、脉冲 DC 磁控溅射均可。 |
| Mn:Co 比例可定制吗? | 可以,支持科研定制比例。 |
| MnCoO 薄膜具备哪些特性? | 电催化性强、导电性可调、氧空位丰富。 |
| 会产生颗粒问题吗? | 高致密烧结可显著减少颗粒。 |
| 是否推荐使用背板? | 大尺寸靶材建议 Cu/Ti 背板,提高散热。 |
| 是否可提供材料检测报告? | 可提供 XRD、SEM、EDS、密度等分析报告。 |
| 可否用于 ReRAM / 氧化物电子学? | 可以,Mn–Co–O 系常用于电阻变化材料研究。 |
| 是否适用于气敏薄膜? | 是,尤其适合氧空位敏感型传感材料。 |
所有 MnCoO 靶材均经过严格检测,包括:
密度与纯度
成分一致性
尺寸公差
表面粗糙度
并附唯一标识编号。
包装方式:
真空密封
防震泡沫
出口木箱
确保靶材在运输与储存中安全、洁净、无污染。
氧化锰钴靶材(MnCoO)凭借其优异的电催化特性、可调控电子结构和良好的薄膜稳定性,是新能源材料、催化薄膜、氧化物电子学及高端功能薄膜应用中的核心材料。苏州科跃提供高纯、高致密度和可定制的 MnCoO 靶材,适用于科研与量产工艺。
如需获取更多规格或报价,请联系:
sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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