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工程与科研应用中,氧化锑蒸发材料主要以 Sb₂O₃(Sb³⁺) 或 Sb₂O₅(Sb⁵⁺) 为供货与使用形态,根据薄膜功能需求选择合适价态。材料采用高纯锑源,经受控氧化、高温煅烧与致密化处理制备,确保相组成稳定、杂质含量低,适用于电子束蒸发与高真空热蒸发工艺。
典型化学组成:SbO(行业统称) / Sb₂O₃ / Sb₂O₅
常用稳定相:Sb₂O₃
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:受控氧化 → 高温煅烧 → 成形烧结
高品质氧化锑蒸发材料有助于:
实现薄膜成分与价态的可控引入;
改善光学薄膜的吸收与折射率调节能力;
作为 SnO₂、In₂O₃ 等氧化物的有效掺杂源;
提升功能薄膜的电学与光学一致性。
光学薄膜:吸收层、光学调制层
透明导电氧化物(TCO)体系:Sb 掺杂前驱材料
半导体与功能氧化物薄膜:载流子调控层
显示与玻璃镀膜:功能与装饰涂层
科研实验:锑基氧化物结构、价态与物性研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | SbO / Sb₂O₃ / Sb₂O₅ | 决定价态与功能特性 |
| 稳定相 | Sb₂O₃ | 工程与科研常用 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质对薄膜性能影响 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 熔点 | ~656 °C(Sb₂O₃) | 易于真空蒸发 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 热蒸发 | 功能氧化物常用 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化锑(Sb₂O₃) | 稳定、易蒸发 | 光学与掺杂源 |
| 氧化锑锡(ATO) | 透明导电 | 透明电极 |
| 氧化铟锡(ITO) | 高导电性 | 显示与触控 |
| 氧化铋(Bi₂O₃) | 高折射率 | 光学功能膜 |
Q1:SbO 是一种独立稳定化合物吗?
A:严格来说不是。工程中 SbO 多作为统称,实际使用以 Sb₂O₃ 或 Sb₂O₅ 为主。
Q2:氧化锑适合哪种蒸发方式?
A:非常适合电子束蒸发,也可用于高真空热蒸发。
Q3:Sb₂O₃ 与 Sb₂O₅ 如何选择?
A:取决于所需价态与薄膜功能,Sb₂O₃ 更常用。
Q4:沉积过程中需要控制氧分压吗?
A:建议控制,以稳定薄膜化学计量与价态。
Q5:是否可用于 TCO 掺杂?
A:是的,是 SnO₂、In₂O₃ 等体系的重要掺杂来源。
Q6:薄膜光学性能是否可调?
A:可通过工艺与价态调控实现。
Q7:是否适合科研级实验?
A:非常适合,是锑基功能氧化物研究的常用材料。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封、干燥保存,避免受潮。
Q9:是否支持定制规格?
A:支持,可根据蒸发源与设备需求定制。
Q10:是否可提供相关复合氧化物?
A:可提供 ATO、ITO 等相关蒸发材料。
所有氧化锑蒸发材料(SbO / Sb₂O₃ / Sb₂O₅)在出厂前均经过严格质量检测并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲与出口级包装,确保运输与储存过程中材料纯度、相结构与蒸发性能稳定。
氧化锑蒸发材料(SbO 体系)凭借其稳定的化学特性、良好的蒸发适应性以及在导电氧化物中的关键掺杂作用,在光学薄膜、透明导电体系与功能氧化物研究中具有重要地位。对于需要精确控制价态、导电性或光学性能的薄膜沉积应用,氧化锑是一种成熟、可靠且科研与工程潜力兼具的蒸发材料选择。
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