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氧化锌靶材（ZnO）是一种透明导电氧化物（TCO）材料，广泛应用于光电、半导体和传感器等领域。ZnO 具有较高的光学透过率、优异的电学性能和热稳定性，是薄膜太阳能电池、气敏材料和光电器件中不可缺少的重要材料之一。它的透明导电性能使其在电子学、光学和光电转换应用中具有独特优势。
在磁控溅射过程中，ZnO 靶材能够产生高质量的薄膜，适用于大规模工业化生产。
苏州科跃材料科技有限公司提供的氧化锌靶材采用高纯氧化锌粉末，通过冷等静压（CIP）成型、热压烧结（Hot Pressing）或热等静压（HIP）处理，保证了靶材的高密度、高纯度和稳定的微观结构，能够满足高性能薄膜沉积的需求。
产品规格：
纯度（Purity）：99.9%（3N）– 99.99%（4N）
尺寸（Size）：直径 25–300 mm，厚度 3–6 mm，定制可选
密度（Density）：≥ 98% 理论密度（T.D.）
工艺（Process）：CIP + Hot Press / HIP 致密化
背板选择（Bonding）：Cu / Ti / Mo 背板，铟焊（In Bonding）
高纯度材料 → 提高薄膜质量与稳定性
均匀微观结构 → 改善薄膜的透光性与电导性
低孔隙率 → 减少薄膜缺陷，提升膜层附着力
强的热稳定性 → 适用于高温环境下的溅射过程
氧化锌靶材主要用于以下领域：
透明导电膜（TCO）：用于薄膜太阳能电池、触摸屏和其他光电设备
光电器件：用于光电探测器、发光二极管（LED）及光催化应用
压电器件：广泛应用于传感器、蜂鸣器、微机电系统（MEMS）
气敏材料：用于气体传感器、光电传感器等设备
紫外光电器件：适用于UV LED和紫外光敏电池等
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 高纯度保证薄膜质量 |
| 密度 | ≥ 98% T.D. | 提升薄膜稳定性 |
| 尺寸 | 直径 25–300 mm | 适合多种沉积设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可根据客户需求定制 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo / In | 根据溅射设备需求选择 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| ZnO | 透明导电、低成本、高稳定性 | TCO、太阳能电池、气敏传感器 |
| AZO（Al-doped ZnO） | 更低电阻、适合大规模生产 | 透明导电膜 |
| ITO | 高导电性、成熟技术 | 高端显示、触摸屏 |
| SnO₂ | 良好的透明度、稳定性 | 透明导电层、传感器 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| ZnO 靶材适合用于哪些沉积方法？ | 适用于 RF 磁控溅射及常规溅射方法。 |
| ZnO 薄膜的电阻率是多少？ | ZnO 薄膜的电阻率取决于溅射条件，一般可达 10⁻³ Ω·cm。 |
| 可否定制 ZnO 薄膜的导电性能？ | 可以，通过调整掺杂比例和工艺条件，调节电阻率。 |
| ZnO 薄膜的透光率如何？ | ZnO 薄膜的透光率一般高达 80–90%，适合光电应用。 |
| ZnO 靶材能否用于柔性基板？ | 可以，ZnO 薄膜具有较好的柔性，适合柔性电子设备。 |
| 高温下是否稳定？ | ZnO 靶材具有较高的热稳定性，适用于高温溅射工艺。 |
| 该靶材可以提供哪些尺寸？ | 我们提供 25–300 mm 的标准尺寸，可定制其他规格。 |
每个靶材单独真空包装，防潮防尘
防震泡沫保护，确保运输过程安全
出口级木箱包装，适用于长途运输
每件产品附带唯一批次号和测试报告
氧化锌靶材（ZnO）是光电与气敏应用中不可或缺的材料，具有透明导电性、环保性和稳定性。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、低电阻率的 ZnO 靶材，满足各类工业与科研需求。
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📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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