氧化锌衬底(ZnO)

苏州科跃 氧化锌(ZnO)衬底

苏州科跃提供高品质氧化锌(ZnO)衬底,非常适合用于 GaN 薄膜外延生长,并广泛应用于光电子、紫外器件及高温电子领域。ZnO 具有 3.73 eV 的带隙及室温下 60 meV 的激子结合能,使其在紫外与可见光发光应用中表现出色。

氧化锌衬底物理性能

性能参数 数值
材料 ZnO
生长方法 MOCVD
晶体结构 六方晶系
晶格常数 (Å) a = 3.252, c = 5.313
晶向 <0001> 3.5º
密度 (g/cm³) 5.7
莫氏硬度 4.0
熔点 1975°C
热膨胀系数 (CTE) a 轴:6.5 × 10⁻⁶ /°C;c 轴:3.7 × 10⁻⁶ /°C
塞贝克系数 1200 μV/K @ 300°C
热导率 0.006 Cal/cm·K
光学透过率 厚度 2 mm 时波长 400–600 nm 的透过率 > 50%

氧化锌衬底规格

规格 参数
尺寸 25 × 25 × 0.5 mm、10 × 10 × 0.5 mm、10 × 5 × 0.5 mm、5 × 5 × 0.5 mm
厚度 0.5 mm
晶向 <0001>、<11-20>、<10-10>
抛光 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP)
定向精度 ±0.5°
边缘倒角 2°(可选 1°)
晶体角度 可根据需求提供特殊尺寸与晶向
表面粗糙度 (Ra) ≤ 5 Å(5 μm × 5 μm)

氧化锌衬底包装

苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中进行封装,并在 Class 1000 洁净室内完成包装,确保产品在运输过程中的安全与洁净。

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