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氧化锆钇靶材（ZrYO）是一类高性能复合氧化物靶材，由氧化锆（ZrO₂）与氧化钇（Y₂O₃）组成，是结构陶瓷、离子导体与高温薄膜中的重要材料。Zr–Y–O 体系具有高热稳定性、良好机械强度、优异的离子电导率和高化学稳定性，因此 ZrYO 靶材广泛用于固体氧化物燃料电池（SOFC）、耐高温薄膜、光学膜层、防护涂层及结构薄膜研究。
钇稳定氧化锆（YSZ）薄膜因其晶相稳定、导电性能好及膜层致密度高，是膜材料研究中的经典体系之一。
苏州科跃材料采用高纯粉末、精细配比技术与致密化烧结工艺，确保 ZrYO 靶材在溅射过程中具有优异的结构稳定性与成膜一致性。
典型规格参数：
纯度： 99.9%（3N）
组成： ZrO₂-Y₂O₃（典型含量 3–10 mol% Y₂O₃，可定制）
尺寸： Φ25–300 mm，可定制矩形靶
厚度： 3–6 mm（支持定制）
密度： ≥ 90–95% 理论密度（TD）
制造工艺： CIP 等静压 + 高温固相烧结
可选工艺： HIP 热等静压
外观： 白色或浅灰陶瓷质感
背板（可选）： Cu / Ti / Mo + 铟焊（提升散热与稳定性）
高结构稳定性：钇含量可稳定氧化锆的立方相，提高薄膜均匀性
高温性能优异：适用于高温薄膜、耐热层
能形成致密薄膜：利于制作隔膜膜层、阻挡膜
化学惰性强：耐腐蚀、耐高温氧化
表面平整度高：降低针孔率，提高膜层一致性
ZrYO（YSZ）靶材常用于以下功能薄膜方向：
固体氧化物燃料电池（SOFC）薄膜电解质
氧离子导体薄膜（Oxygen Ion Conducting Films）
耐高温保护膜
光学薄膜（抗反射、保护层等）
绝缘层、阻挡层
传感器薄膜（氧传感器、气敏薄膜）
结构陶瓷涂层、耐磨膜层
先进能源材料研究
由于其高温稳定性与优异的离子传导特性，ZrYO 常用于能源材料及耐高温应用。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% | 提升材料稳定性与膜层可靠性 |
| 成分 | 3–10 mol% Y₂O₃（可定制） | 决定晶相与导电特性 |
| 直径 | Φ25–300 mm | 适配主流溅射腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射寿命与膜层速率 |
| 密度 | ≥ 90–95% TD | 薄膜均匀性和致密度关键 |
| 工艺 | CIP / 烧结 / HIP | 决定靶材强度与抗裂性 |
| 背板 | Cu/Ti/Mo + Indium | 加强散热与结构稳定性 |
| 溅射方式 | RF / DC | RF 为主，DC 可选 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| ZrYO（YSZ） | 离子电导率高、耐高温 | SOFC、耐热薄膜 |
| ZrO₂ | 高硬度、高稳定性 | 结构陶瓷、保护层 |
| Y₂O₃ | 光学透明度高、耐高温 | 光学膜、隔离层 |
| Ce-doped ZrO₂ | 更高离子导电率 | 燃料电池电解质 |
| 问题 | 回答 |
|---|---|
| Y₂O₃ 含量可以定制吗？ | 可以，3–10 mol% 均可按需求定制。 |
| 适合 RF 还是 DC 溅射？ | 建议 RF，薄膜成分与均匀性更稳定。 |
| YSZ 薄膜有什么优势？ | 高温稳定、致密性好、离子导电率高。 |
| 是否适合多层复合结构？ | 是，可用于功能层、阻挡层和保护层。 |
| 是否能长期高温工作？ | 可以，ZrYO 对高温与氧化环境高度稳定。 |
| 膜层是否透明？ | 随成分与厚度不同，可微透明或不透明。 |
| 是否需要背板？ | 大尺寸靶材推荐背板以降低热应力。 |
所有 ZrYO 靶材均采用：
真空密封
防静电袋
泡沫缓冲
外层出口级木箱/纸箱
并附唯一追踪编号，确保运输安全与过程可溯源。
氧化锆钇（ZrYO）靶材是一类具有优异结构稳定性、导电性和高温耐受性的功能性复合氧化物靶材，广泛应用于 SOFC、电解质薄膜、耐热层、结构膜和光学薄膜等场景。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度并支持多规格定制的 ZrYO 溅射靶材，为科研与产业应用提供可靠材料支持。
如需询价或技术参数，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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