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氧化铟靶材(In₂O₃)是一种重要的透明导电材料,广泛应用于光电、电子、能源存储等领域。作为透明导电氧化物(TCO),In₂O₃ 具有较低的电阻率和较高的透光性,因此广泛应用于太阳能电池、液晶显示器、触摸屏、显示器等设备的透明电极。氧化铟靶材还被广泛应用于气敏传感器、气体传感器、导电薄膜等高端应用。
氧化铟靶材不仅具有优异的透明导电性能,还具备较好的热稳定性和化学稳定性,是薄膜沉积工艺中的理想材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供的氧化铟靶材(In₂O₃)采用高纯度的铟金属原料,经过冷等静压(CIP)、热等静压(HIP)或高温烧结(Hot Pressing)工艺制备,确保靶材具有高纯度和均匀性。我们的氧化铟靶材适用于透明导电膜、光电器件、电池材料等多种薄膜沉积需求。
常规规格:
纯度(Purity):99.9%(3N)– 99.99%(4N)
尺寸(Size):直径 25–300 mm,厚度 3–6 mm(可定制)
密度(Density):≥ 98% 理论密度(T.D.)
工艺(Process):CIP 成型 + 热压烧结(Hot Pressing)/ HIP 致密化
背板结合(Bonding):Cu / Ti / Mo 背板,铟焊(In Bonding)
高纯度靶材 → 提供高质量薄膜,减少杂质污染
优异的透明导电性 → 适用于太阳能电池、触摸屏等透明导电膜应用
良好的光学性能 → 高透光率,适合光电器件和显示器应用
良好的热稳定性 → 适用于高温薄膜沉积过程
均匀微观结构 → 保证薄膜的稳定性和电学性能
氧化铟靶材广泛应用于以下领域:
透明导电膜(TCO):用于薄膜太阳能电池、触摸屏透明电极、光学薄膜等
光电器件:用于光电探测器、显示器、LED、OLED等
电子薄膜:用于电子器件、集成电路、薄膜电容等高端应用
传感器材料:用于气敏传感器、电化学传感器等
能源材料:用于太阳能电池、光伏材料的薄膜制备
环保材料:用于污水处理和空气净化的薄膜材料
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 高纯度保证薄膜质量 |
| 密度 | ≥ 98% T.D. | 提升薄膜稳定性 |
| 尺寸 | 直径 25–300 mm | 适配多种溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可根据需求定制 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热与稳定性 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| In₂O₃ | 透明导电性良好、高透光率 | 太阳能电池、触摸屏、光电器件 |
| SnO₂ | 良好的透明导电性 | 透明导电膜、气敏传感器 |
| ZnO | 环保、透明导电性良好 | 透明导电膜、气敏传感器 |
| TiO₂ | 高折射率、光学稳定性 | 光学薄膜、催化材料 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| In₂O₃ 靶材适用于哪些溅射方法? | In₂O₃ 靶材适用于 RF 磁控溅射和 DC 溅射。 |
| 氧化铟靶材的主要用途有哪些? | 主要用于透明导电膜、光电器件和太阳能电池等领域。 |
| 该靶材的电导率如何? | In₂O₃ 靶材具有较低的电阻率,适合透明导电膜的制备。 |
| 是否适用于柔性基板? | 是的,氧化铟薄膜适用于柔性基板的应用。 |
| 该靶材的透光率如何? | In₂O₃ 薄膜具有较高的透光率,适合光电应用。 |
| 是否提供背板结合选项? | 是的,氧化铟靶材可选择铜(Cu)、钛(Ti)或铟焊(In)背板。 |
| 是否提供定制规格? | 可以,提供定制尺寸、厚度和背板选项,满足不同溅射需求。 |
每个靶材都采用真空密封包装
防震泡沫保护,确保运输安全
出口级木箱包装,适合长途运输
每个靶材附带唯一批次号和质量检测报告
氧化铟靶材(In₂O₃)凭借其优异的透明导电性、光学性能和化学稳定性,广泛应用于太阳能电池、触摸屏、光电器件等领域。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高密度、多规格定制的氧化铟靶材,满足各类工业和科研需求。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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