氧化铟铝靶材（InAlO）

产品简介（Introduction）

氧化铟铝靶材（InAlO）是一种由铟（In）与铝（Al）形成的复合透明氧化物靶材，具有优异的透明导电性能、出色的光学稳定性、较低的载流子散射率和良好的薄膜均匀性。In–Al–O 体系是新一代透明氧化物半导体（TOS）和透明导电材料（TCO）中的重要分支，广泛应用于高端显示、触控、光电器件以及薄膜晶体管（TFT）技术领域。

与传统 ITO 相比，InAlO 在可加工性、薄膜热稳定性、环境稳定性与透明度方面具有显著优势，并且适用于柔性电子与低温沉积环境。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密、可定制化的 InAlO 溅射靶材。产品通过冷等静压（CIP）成型、高温烧结、精密研磨等工艺生产，确保靶材成分均匀、结构致密，适用于 RF / DC / 脉冲磁控溅射系统。

产品规格：

• 纯度： 99.9%–99.99%

• 尺寸： Ø25–Ø300 mm 圆形靶，可定制矩形靶

• 厚度： 3–6 mm（可定制）

• 化学计量比： In:Al 比例可根据科研需求调整

• 制造工艺： CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨

• 背板： Cu / Ti 背板或铟焊 In-Bonding

• 外观： 深灰～黑色高密陶瓷靶材表面，质地细腻

性能优势：

• 高透明度与高电导率兼具

• 更高的环境稳定性（抗湿度、抗氧化）

• 热稳定性强，适合高温退火应用

• 薄膜平整度和均匀性优异

• 相比 ITO 更适合柔性电子与低温玻璃/聚酰亚胺基底

应用领域（Applications）

1. 透明导电膜（Transparent Conductive Films）

• 触摸屏（Touch Panel）

• OLED / LCD 显示

• Micro-LED 光电元件

• 光伏太阳能电池透明电极

2. 薄膜晶体管（TFT）

• 透明 TFT（TTFT）

• 氧化物 TFT（Oxide TFT）

• 柔性显示器

3. 光学功能薄膜（Optical Films）

• 折射率调控涂层

• 耐候透明薄膜

• 多层光学干涉膜

4. 电子与光电界面工程

• 功能过渡层

• 调制层、吸收层

• 多层结构匹配层

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装与交付（Packaging）

每片 InAlO 靶材出厂前均进行以下检测：

• 纯度

• 密度与显微结构

• 尺寸公差

• 成分均匀性

• 表面粗糙度

并贴附唯一追踪编号。

包装方式：

• 真空密封

• 防震泡沫保护

• 出口级木箱

确保运输与储存无污染无损伤。

结论（Conclusion）

氧化铟铝靶材（InAlO）凭借其卓越的透明导电性能、优异的稳定性与薄膜兼容性，在显示技术、透明电子、高端光电器件以及柔性器件中具有重要应用价值。苏州科跃提供高纯、高致密并可定制的 InAlO 靶材，为高端薄膜制备提供可靠材料支持。

如需更多规格、测试报告或报价，请联系：
sales@keyuematerials.com