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氧化铟铁蒸发材料(Indium Iron Oxide Evaporation Material,InFeO / In–Fe–O 复合体系)是一类多元过渡金属—后过渡金属复合氧化物功能蒸发材料,在磁性氧化物薄膜、功能半导体、光电与自旋相关研究领域中具有重要应用价值。
通过引入 Fe 元素,InFeO 薄膜在保持氧化铟体系良好光学与工艺稳定性的同时,可实现电学、磁学或载流子行为的协同调控,适用于需要多物性耦合的前沿研究与功能器件探索。
在真空蒸发与 PVD 工艺中,高纯 InFeO 蒸发材料可实现成分可控、蒸发行为稳定、薄膜一致性良好的沉积效果,兼顾科研探索与工艺可扩展性。
氧化铟铁蒸发材料通常由 In₂O₃ 与 Fe₂O₃ / FeO 按精确比例复合制备,经固相合成与高温烧结成形,确保材料致密、相组成稳定,适用于电子束蒸发与高真空热蒸发工艺。
典型化学组成:InFeO(In–Fe–O 复合氧化物)
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
In/Fe 比例:可定制(满足电学/磁学调控需求)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:固相合成 → 高温烧结 → 成形
高质量 InFeO 蒸发材料可有效:
实现对薄膜导电性、载流子浓度与磁性特征的调控;
提高多元氧化物薄膜的成分均匀性与可重复性;
改善薄膜与玻璃、Si、氧化物或金属电极的界面结合;
支持多物性耦合器件的研究与验证。
磁性与自旋相关薄膜:稀磁半导体、磁—电耦合研究
功能氧化物半导体:电学与磁学可调薄膜
光电与传感器件:功能层或复合氧化物层
多元氧化物体系:掺杂或复合薄膜结构
科研实验:氧化物电子学与磁性调控研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | InFeO(In–Fe–O) | 决定电学与磁学行为 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质对薄膜性能影响 |
| In/Fe 比例 | 可定制 | 调控导电性与磁性 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 热蒸发 | 复合氧化物常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化铟铁(InFeO) | 多物性调控 | 磁性/功能氧化物 |
| 氧化铟(In₂O₃) | 高透明性 | TCO 与光电薄膜 |
| 氧化铁(Fe₂O₃ / Fe₃O₄) | 磁学特性明显 | 磁性薄膜 |
| InGaZnO(IGZO) | 高迁移率 | TFT 半导体 |
Q1:InFeO 适合哪种蒸发方式?
A:适用于电子束蒸发与高真空热蒸发,适合多元氧化物薄膜制备。
Q2:InFeO 是导电材料吗?
A:导电行为取决于 In/Fe 比例与沉积条件,可实现半导体或功能导电薄膜。
Q3:Fe 的引入主要作用是什么?
A:用于引入磁性或调控载流子行为,实现多物性耦合。
Q4:沉积过程中是否需要控制氧分压?
A:需要,氧分压会显著影响价态、导电性与磁学性能。
Q5:是否适合科研级实验?
A:非常适合,是多元氧化物与稀磁半导体研究的常用材料。
Q6:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率与成分控制。
Q7:是否适合与其他氧化物共蒸发?
A:可以,常用于多层或复合结构设计。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封、干燥保存,避免吸湿与污染。
Q9:是否支持定制比例与规格?
A:支持,可根据设备与研究目标定制。
Q10:是否可提供其他 In 基复合氧化物?
A:可提供 ITO、InZnO、IGZO、InSnO 等相关蒸发材料。
所有氧化铟铁蒸发材料(InFeO)在出厂前均经过严格质量检测并建立批次追溯体系。采用真空密封、防震缓冲及出口级包装,确保运输与储存过程中材料纯度、成分与蒸发性能稳定。
氧化铟铁蒸发材料(InFeO)通过将氧化铟体系与铁基功能引入相结合,为磁性、半导体与多物性耦合薄膜提供了灵活可调的材料平台。对于需要在透明性、电学行为与磁学特性之间实现平衡与设计的薄膜沉积应用,InFeO 是一种具有研究深度与应用潜力的复合氧化物蒸发材料选择。
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