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氧化铟蒸发材料通常以 In₂O₃ 为稳定相(工程中常简写为 InO),采用高纯铟源经受控氧化、精确成形与高温烧结工艺制备,确保材料致密、杂质含量低,适用于电子束蒸发与高真空热蒸发环境。
典型化学组成:InO / In₂O₃
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:高纯粉体 → 受控氧化 → 成形 → 高温烧结
表面状态:致密、低挥发杂质,适合高真空蒸发
高品质氧化铟蒸发材料有助于:
提高薄膜透明度与导电稳定性;
降低薄膜缺陷密度,改善器件一致性;
优化与玻璃、Si、ITO、金属电极等基底的界面结合;
满足显示与光电器件对长期可靠性的要求。
透明导电薄膜(TCO):显示面板、电极层
光电器件:光电探测器、透明功能层
半导体工艺:缓冲层、界面层、功能氧化物
复合氧化物体系:ITO、IZO、IGZO 的基础组分
科研实验:透明氧化物电学与光学研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | InO / In₂O₃ | 决定透明与导电性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质对薄膜性能影响 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 熔点 | ~1910 °C(In₂O₃) | 适合高温蒸发 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 热蒸发 | TCO 薄膜常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化铟(In₂O₃) | 高透明度、稳定性好 | TCO 基础材料 |
| ITO | 导电性优 | 主流透明电极 |
| InZnO | 低温工艺友好 | 柔性显示 |
| AZO | 成本较低 | 通用透明导电膜 |
Q1:InO 与 In₂O₃ 是同一种材料吗?
A:工程与应用中通常以 In₂O₃ 为稳定相,InO 多为简化标识。
Q2:氧化铟适合哪种蒸发方式?
A:非常适合电子束蒸发,也可用于高真空热蒸发。
Q3:氧化铟薄膜是否透明?
A:是的,在可见光区域具有高透过率。
Q4:沉积过程中是否需要控制氧分压?
A:建议控制氧分压,以优化薄膜的导电与光学性能。
Q5:是否适合显示面板应用?
A:适合,是多种显示与光电器件中的基础材料。
Q6:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于获得稳定蒸发速率。
Q7:是否适合科研级实验?
A:非常适合,是透明氧化物研究中的常用材料。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封、干燥保存,避免吸湿。
Q9:是否支持定制规格?
A:支持,可按蒸发舟、坩埚及设备需求定制。
Q10:是否可提供氧化铟相关复合材料?
A:可提供 ITO、InZnO、IGZO 等多种复合氧化物蒸发材料。
所有氧化铟蒸发材料(InO)在出厂前均经过严格质量检测并建立批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲及出口级包装,确保运输与储存过程中材料纯度、成分与蒸发性能稳定。
氧化铟蒸发材料(InO / In₂O₃)凭借其高透明性、良好的导电潜力与稳定的工艺表现,在透明导电薄膜与光电器件领域中具有长期而稳固的应用价值。对于追求薄膜一致性、性能可控性及可靠性的沉积需求,氧化铟是一种成熟、基础且不可或缺的蒸发材料选择。
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