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氧化铌蒸发材料采用高纯 Nb₂O₅ 粉体为原料,经精确成形与高温烧结制备,确保材料致密、化学计量稳定,并适用于高真空与高能束流沉积环境。
化学组成:Nb₂O₅
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:高纯粉体 → 成形 → 高温烧结
表面状态:致密、低吸附,适合高真空蒸发
高质量 Nb₂O₅ 蒸发材料可有效:
提升薄膜致密度与厚度均匀性;
保证折射率与介电性能的一致性;
降低蒸发过程中的成分与相态波动;
延长蒸发源与设备使用寿命。
光学镀膜:高折射率层、增透膜、反射与滤光膜
半导体与微电子:高介电介质层、缓冲层、界面工程
光电子与显示技术:功能光学与保护薄膜
能源与功能器件:电容、电介质与相关功能薄膜
科研实验:氧化物薄膜结构、介电与光学性能研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | Nb₂O₅ | 决定光学与介电性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质与光学吸收 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 熔点 | ~1512 °C | 适合中高温蒸发 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 光学薄膜常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化铌(Nb₂O₅) | 高折射率、低吸收 | 高端光学膜系 |
| 氧化钛(TiO₂) | 折射率高 | 光学功能薄膜 |
| 氧化钽(Ta₂O₅) | 吸收更低 | 精密光学 |
| 氧化铝(Al₂O₃) | 工艺成熟 | 通用介质层 |
Q1:Nb₂O₅ 蒸发材料适合哪种蒸发方式?
A:推荐电子束蒸发,也可在高温条件下进行热蒸发。
Q2:Nb₂O₅ 薄膜的光学优势是什么?
A:具有较高折射率且可实现低光学吸收,适合精密光学膜系。
Q3:Nb₂O₅ 是否适合高介电应用?
A:适合,常用于高介电介质层与电容相关薄膜。
Q4:沉积过程中是否需要控制氧分压?
A:建议控制,以确保薄膜化学计量与性能稳定。
Q5:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率与膜厚控制。
Q6:Nb₂O₅ 薄膜耐高温吗?
A:耐高温性能良好,适合多种工艺环境。
Q7:是否适合科研级应用?
A:非常适合,是光学与介电薄膜研究的常用材料。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封保存,避免吸湿与污染。
Q9:是否支持定制规格?
A:支持,可根据蒸发设备与工艺需求定制。
Q10:是否可提供其他铌基氧化物?
A:可提供多种铌基氧化物及复合氧化物蒸发材料。
所有氧化铌蒸发材料(Nb₂O₅)在出厂前均经过严格质量检测,并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲及出口级包装,确保运输与储存过程中材料洁净度与性能稳定。
氧化铌蒸发材料(Nb₂O₅)凭借其高折射率、低光学吸收与稳定的介电性能,在高端光学镀膜、半导体介质层及功能薄膜领域中具有长期可靠的应用价值。对于追求高一致性、高可靠性与精确光学控制的薄膜沉积需求,Nb₂O₅ 是一种成熟、稳健且性能突出的氧化物蒸发材料选择。
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