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氧化钪靶材（Sc₂O₃）是一种重要的稀土金属氧化物，具有优异的光学性能、热稳定性和化学稳定性。氧化钪具有高熔点、低蒸汽压和较高的机械强度，广泛应用于激光、光电、半导体以及航空航天等高端领域。由于其在高温环境下的优异表现，Sc₂O₃ 靶材成为薄膜沉积、光学涂层以及高温陶瓷材料中不可或缺的材料。
氧化钪靶材常用于光学薄膜、激光增益介质、气体传感器等领域，尤其适合高精度薄膜沉积和高功率激光应用。
苏州科跃材料科技有限公司提供的氧化钪靶材（Sc₂O₃）采用高纯度的钪金属原料，经过冷等静压（CIP）、热等静压（HIP）或高温烧结（Hot Pressing）工艺制备而成，确保靶材具有高纯度、均匀的颗粒分布和优异的溅射性能。我们的氧化钪靶材适用于多种薄膜沉积需求，包括激光器、光学薄膜、电池等领域。
常规规格：
纯度（Purity）：99.9%（3N）– 99.99%（4N）
尺寸（Size）：直径 25–300 mm，厚度 3–6 mm（可定制）
密度（Density）：≥ 98% 理论密度（T.D.）
工艺（Process）：CIP 成型 + 热压烧结（Hot Pressing）/ HIP 致密化
背板结合（Bonding）：Cu / Ti / Mo 背板，铟焊（In Bonding）
高纯度材料 → 确保薄膜的高质量，减少杂质和缺陷
光学性能优异 → 高折射率和透明性，适用于光学薄膜和激光增益介质
良好的热稳定性 → 适用于高温环境下的薄膜沉积
均匀微观结构 → 提供优异的电学和光学性能
氧化钪靶材广泛应用于以下领域：
激光增益材料：用于高功率激光器和其他光电设备
光学薄膜：用于反射膜、抗反射膜、透明导电膜等
气体传感器：用于制造高灵敏度的气体传感器和电化学传感器
半导体薄膜：用于制造半导体器件的薄膜材料
光电器件：用于光纤、激光探测器、显示器等光电器件
高温陶瓷材料：适用于高温环境中的陶瓷薄膜和保护层
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 高纯度保证薄膜质量 |
| 密度 | ≥ 98% T.D. | 提升薄膜的稳定性和致密度 |
| 尺寸 | 直径 25–300 mm | 适配多种溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可根据需求定制 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热和稳定性 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| Sc₂O₃ | 高折射率、良好的热稳定性 | 激光增益材料、光学薄膜、气敏传感器 |
| Y₂O₃ | 优异的化学稳定性，适用于高温环境 | 激光增益介质、光学涂层 |
| Al₂O₃ | 高机械强度、广泛应用 | 高温陶瓷、电子元件 |
| ZrO₂ | 优异的电学和光学性能 | 高温材料、光学膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| Sc₂O₃ 靶材适用于哪些溅射方法？ | Sc₂O₃ 靶材适用于 RF 磁控溅射和 DC 溅射。 |
| 氧化钪靶材的主要用途有哪些？ | 主要用于激光增益介质、光学薄膜、气敏传感器等高端应用。 |
| 该靶材的光学折射率如何？ | 氧化钪靶材具有较高的光学折射率，适用于光学薄膜应用。 |
| 高温下是否稳定？ | 是的，氧化钪靶材具有优良的热稳定性，适用于高温薄膜沉积。 |
| 该靶材是否适用于柔性基板？ | 是的，氧化钪薄膜适用于柔性基板的应用。 |
| 是否提供定制规格？ | 可以，提供定制尺寸、厚度和背板选项，满足不同溅射需求。 |
| 是否提供质量报告？ | 每批次产品附带详细的质量检测报告，确保质量稳定。 |
每个靶材都采用真空密封包装
防震泡沫保护，确保运输安全
出口级木箱包装，适合长途运输
每个靶材附带唯一批次号和质量检测报告
氧化钪靶材（Sc₂O₃）凭借其优异的光学性能、热稳定性和化学稳定性，广泛应用于激光增益介质、光学薄膜和高温陶瓷等领域。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高密度、多规格定制的氧化钪靶材，满足各类工业和科研需求。
如需了解更多技术参数或获取报价，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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