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氧化钇铝靶材（YAlO）是一类由氧化钇（Y₂O₃）与氧化铝（Al₂O₃）组成的复合氧化物靶材，常用于研究高绝缘薄膜、光学功能膜、耐高温材料以及结构陶瓷类薄膜。
由于 Y–Al–O 体系具有良好的化学稳定性、高硬度、优异的介电性能与高温结构稳定性，YAlO 靶材广泛用于电子学、光学、半导体封装以及先进薄膜材料制备。
该材料在溅射沉积中可形成致密、均匀、附着力高的绝缘性薄膜，适合科研实验室与工业薄膜开发。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯粉末、精准化学计量配比与高温固相烧结工艺，确保 YAlO 靶材具有优异的致密度、均匀性和溅射稳定性。
典型规格：
纯度： 99.9%（3N）
化学体系： Y–Al–O 复合氧化物
尺寸： Φ25–300 mm，可定制矩形靶
厚度： 3–6 mm
密度： ≥ 90–95% 理论密度（TD）
制造工艺： CIP 冷等静压 + 高温固相烧结
可选工艺： HIP 热等静压（更高致密度）
外观： 深灰陶瓷质感（实际颜色因比例略有差异）
背板结合： Cu / Ti / Mo，可选择铟焊（Indium Bonding）
稳定性高：耐腐蚀、耐高温、抗化学侵蚀
薄膜绝缘性能优异：适用于高介电常数、高电阻层
表面均匀致密：减少针孔，提高薄膜一致性
多种沉积工艺兼容性：适用于 RF、DC、脉冲溅射
强热机械性能：适合高功率或高温条件下的沉积
YAlO 在先进功能薄膜研究中具有广泛用途，包括：
高介电常数薄膜（High-k Dielectric Films）
光学镀膜（保护层、反射层）
绝缘层、阻挡层（Barrier / Insulating Layer）
耐磨涂层与结构陶瓷膜
半导体封装保护薄膜
高温稳定层（HT protective coating）
传感器结构膜、功能膜
YAlO 结合了 Y₂O₃ 的高熔点与 Al₂O₃ 的机械强度，是兼具光学、机械与电学特性的通用型功能氧化物靶材。
| 参数 | 范围/典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%（3N） | 有助于获得高绝缘膜与低缺陷率 |
| 尺寸 | Φ25–300 mm | 适配各类溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射速率与寿命 |
| 密度 | ≥ 90–95% TD | 决定薄膜的致密性和均匀性 |
| 工艺 | CIP + 烧结 / HIP | 控制结构稳定与抗裂性能 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo + Indium | 提升散热与结构强度 |
| 溅射方式 | RF / DC | RF 建议用于绝缘材料沉积 |
| 材料 | 特性 | 常见用途 |
|---|---|---|
| YAlO | 高绝缘性、耐高温 | 介电膜、光学保护层 |
| Y₂O₃ | 高熔点、光学透明 | 光学薄膜、绝缘层 |
| Al₂O₃ | 高硬度、耐磨 | 保护膜、结构薄膜 |
| Y₃Al₅O₁₂（YAG） | 光学成员相 | 激光晶体、光子薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| YAlO 是绝缘材料吗？ | 是，YAlO 是高绝缘复合氧化物，适用于高阻薄膜。 |
| 适合 RF 还是 DC？ | 建议 RF，能量耦合更好、稳定性更高。 |
| 可以用于光学镀膜吗？ | 可以，具备良好的光学稳定性与硬度。 |
| 是否适合高温应用？ | 适合，其具有高熔点和优异热稳定性。 |
| 可否定制成分？ | 可按需求调整 Y/Al 比例。 |
| 是否需要背板？ | 大尺寸靶材建议 Cu/Ti 背板以提升散热。 |
| 储存要求是什么？ | 干燥密封保存即可，避免强力碰撞。 |
所有 YAlO 靶材均采用：
真空密封包装
防静电袋
泡沫缓冲保护
外层出口级纸箱/木箱
并附唯一追踪编码，保证运输过程安全可靠。
氧化钇铝（YAlO）靶材是高绝缘性、高稳定性薄膜材料的重要来源，广泛用于光学镀膜、绝缘层、结构保护膜以及耐高温薄膜应用。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度并支持定制生产的 YAlO 靶材，适合科研与先进制造领域的薄膜制备需求。
如需报价或技术资料，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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