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氧化钇蒸发材料采用高纯 Y₂O₃ 粉体为原料,经精确成形与高温烧结制备,确保材料致密、化学计量稳定,并适用于高真空和高能束流沉积条件。
化学组成:Y₂O₃
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:高纯粉体 → 成形 → 高温烧结
表面状态:致密、低吸附,适合高真空蒸发
高质量 Y₂O₃ 蒸发材料有助于:
提升薄膜致密度与结构一致性;
保证光学与介电性能稳定;
降低蒸发过程中的成分波动;
延长蒸发源与设备使用寿命。
光学镀膜:高折射率层、保护层、功能光学薄膜
半导体与电子:绝缘层、缓冲层、界面工程
高温与防护涂层:耐热、耐腐蚀功能氧化物层
功能陶瓷与复合薄膜:稳定稀土氧化物薄膜
科研实验:稀土氧化物物性与薄膜结构研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | Y₂O₃ | 决定薄膜性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质缺陷 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 熔点 | ~2430 °C | 适合高温蒸发 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 高熔点氧化物优选 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化钇(Y₂O₃) | 高稳定性、低吸收 | 光学与介电薄膜 |
| 氧化锆(ZrO₂) | 高强度 | 高温与光学薄膜 |
| 氧化钇锆(YSZ) | 相稳定、离子导电 | 能源与电解质层 |
| 氧化铝(Al₂O₃) | 工艺成熟 | 通用保护涂层 |
Q1:Y₂O₃ 蒸发材料适合哪种蒸发方式?
A:推荐电子束蒸发,也可用于高温热蒸发工艺。
Q2:Y₂O₃ 薄膜的主要优势是什么?
A:具有良好的光学透明性、介电稳定性与耐高温性能。
Q3:是否适合光学应用?
A:非常适合,常用于高端光学镀膜与保护层。
Q4:Y₂O₃ 薄膜容易吸湿吗?
A:薄膜本身稳定,但材料与成膜过程需避免吸湿。
Q5:是否可用于复合氧化物薄膜?
A:可以,常作为掺杂或稳定相材料使用。
Q6:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀尺寸有助于稳定蒸发速率与膜厚控制。
Q7:是否适合科研级应用?
A:非常适合,是稀土氧化物研究中的常用材料。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封保存,避免吸湿和污染。
Q9:是否支持定制规格?
A:支持,可根据蒸发设备与工艺需求定制。
Q10:与 YSZ 有何主要区别?
A:YSZ 侧重离子导电与相稳定,Y₂O₃ 更偏向光学与介电应用。
所有氧化钇蒸发材料在出厂前均经过严格检测并建立批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲及出口级包装,确保运输与储存过程中材料的洁净度与性能稳定。
氧化钇蒸发材料(Y₂O₃)以其优异的化学稳定性、高温性能和出色的光学与介电特性,在光学镀膜、电子器件及高端科研领域中具有长期可靠的应用价值。对于追求高一致性、高可靠性与高性能的薄膜沉积需求,Y₂O₃ 是一种成熟且值得信赖的稀土氧化物蒸发材料选择。
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