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氟化锶(Strontium Fluoride,SrF₂)是一种典型的碱土金属氟化物材料,具有优异的化学稳定性、宽禁带、高光学透明性以及良好的介电性能。SrF₂ 在紫外(UV)、可见光(VIS)及红外(IR)波段均具有良好的透过率,是光学镀膜、激光系统、红外窗口及功能介电薄膜中的重要材料。
作为溅射靶材,氟化锶具有稳定的溅射行为、低颗粒生成和良好的膜层均匀性,适用于 RF 磁控溅射及离子束沉积(IBD)工艺,广泛应用于科研级和工业级光学与电子薄膜制备。
氟化锶靶材通常采用高纯原料,通过真空烧结(Vacuum Sintering)、热压(HP)或热等静压(HIP)工艺制备,以获得高致密度和稳定的化合物结构。
● 化学式: SrF₂
● 纯度: 99.9%–99.999%(3N–5N,可定制)
● 密度: ≥95% 理论密度
● 尺寸: Ø25–Ø300 mm(支持矩形靶定制)
● 厚度: 3–6 mm(可定制薄靶或加厚靶)
● 制造工艺: Vacuum Sintering / HP / HIP
● 背板选项: Cu / Ti / Mo(支持铟焊)
● 外观颜色: 白色或浅灰白色致密陶瓷体
高致密 SrF₂ 靶材可显著降低溅射颗粒,提升薄膜的光学与电学一致性。
紫外与红外光学窗口
高透过率增透膜(AR Coatings)
激光光学系统保护层
多层干涉滤光片
高功率激光器光学元件
红外探测与成像系统
高能量密度光学薄膜
介电绝缘层
高电阻薄膜
MEMS 与传感器功能层
氟化物薄膜结构研究
宽禁带材料与介电薄膜研究
与 MgF₂、CaF₂、YF₃ 等氟化物的多层膜设计
| 参数 | 典型范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.999% | 提升薄膜透明度与稳定性 |
| 密度 | ≥95% TD | 高致密性减少颗粒 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 适配主流镀膜设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可定制 |
| 熔点 | ~1477°C | 适用于高温沉积工艺 |
| 折射率 | ~1.44(λ=550 nm) | 光学薄膜设计友好 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo | 改善散热与机械稳定性 |
| 材料 | 主要特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| SrF₂ | 宽光谱透明、化学稳定 | UV/IR 光学薄膜 |
| MgF₂ | UV 透过率极高 | 紫外增透膜 |
| CaF₂ | IR 透明性优异 | 红外窗口 |
| YF₃ | 高激光损伤阈值 | 高功率光学系统 |
| LaF₃ | 光学与激光应用广泛 | 激光与光通信 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SrF₂ 靶材适合 RF 还是 DC? | 属于绝缘材料,通常使用 RF 溅射。 |
| SrF₂ 是否吸湿? | 轻微吸湿,建议真空密封保存。 |
| 可否提供 5N 高纯靶材? | 可以,支持定制。 |
| 薄膜是否透明? | 是,可获得高透明 UV–IR 薄膜。 |
| 是否适合多层光学膜? | 非常适合,常用于 AR / HR 结构。 |
| 能否与其他氟化物共溅射? | 可以,与 MgF₂、YF₃、CaF₂ 等兼容。 |
双层真空密封包装
干燥剂防潮保护
防震泡棉固定
出口级木箱运输
附 COA 与批次追溯编号
氟化锶靶材(SrF₂)凭借其优异的光学透明性、化学稳定性与良好的薄膜沉积性能,在光学镀膜、激光系统、红外器件和半导体薄膜中具有重要应用价值。高纯、高致密 SrF₂ 靶材能够显著提升薄膜质量,是科研与工业镀膜领域的可靠选择。
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