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氟化锌（ZnF₂）是一种重要的无机氟化物材料，具有 高透光性、低折射率、优异的化学稳定性和良好的热稳定性。ZnF₂ 薄膜常用于光学镀膜、紫外透过膜、红外窗口、绝缘层以及特种电子与光电应用。
作为溅射靶材，ZnF₂ 能够在 RF 或离子束溅射中沉积出 高透过率、低吸收、表面平滑的薄膜，广泛应用于光学镀膜产业与科学研究。
● 化学式： ZnF₂
● 纯度： 99.9%–99.99%
● 外观： 乳白色 / 淡灰色陶瓷质感
● 尺寸范围： Ø25–300 mm（可定制方形、矩形）
● 厚度： 2–6 mm 或按要求定制
● 致密度： ≥95% 理论密度（可提供高致密版以减少颗粒）
● 制造工艺：
– 高温固相法烧结（Solid-State Sintering）
– 冷等静压（CIP）
– 真空热压烧结（HP）
– 精密研磨与倒角
● 背板选项： Cu / Ti / 铟焊（Indium Bonding）
● 溅射兼容性： RF 磁控溅射推荐；适用于离子束与 PVD 光学系统
ZnF₂ 的热导率较低，因此使用背板可改善散热能力并提升靶材稳定性。
● 光学镀膜（Optical Coatings）
用于低折射率膜层、抗反射膜（AR）、干涉滤光片、紫外/可见光/红外窗口。
● 红外器件（IR Devices）
ZnF₂ 具有在 0.2–10 μm 波段良好的透光性，适合中红外应用。
● 介电层（Dielectric Layers）
用于绝缘层、高介电常数复合结构、电子功能薄膜。
● 激光器与探测器薄膜（Laser & Detector Films）
● 特种玻璃镀膜（Glass Coating）
提升透光率、调节光谱响应。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 纯度越高，薄膜光学损耗越低 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 覆盖主流溅射设备 |
| 厚度 | 2–6 mm | 按需求定制 |
| 致密度 | ≥95% | 提升薄膜均匀性与附着力 |
| 相态 | ZnF₂ | 高稳定性，适合光学镀膜 |
| 背板 | Cu / Ti / In bonding | 建议用于长期沉积以增强散热 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| ZnF₂ | 低折射率、高透光率 | AR 膜、光窗薄膜 |
| MgF₂ | 更低折射率 | 光学镀膜主流材料 |
| CaF₂ | 高透过性、低吸收 | 红外窗口材料 |
| ZnS/ZnSe | 高折射率 | 多层光学膜系 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| ZnF₂ 靶材应使用 RF 吗？ | 是，ZnF₂ 陶瓷靶材更适合 RF。 |
| 薄膜是否具备高透过率？ | 是，可实现极低吸收的光学膜层。 |
| 需要背板吗？ | 建议用于高功率或长时间工况。 |
| 是否可提供矩形靶材？ | 完全支持按图纸定制。 |
| 是否容易吸潮？ | ZnF₂ 稳定性较好，正常干燥保存即可。 |
● 单片真空密封
● 防静电袋 + 防震泡棉
● 出口木箱包装
● 附带纯度报告、尺寸检测、批次信息
氟化锌靶材（ZnF₂）凭借其优异的光学透过性能、低折射率和良好稳定性，是光学镀膜和电子薄膜的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供 高纯度、高致密度、全规格可定制的 ZnF₂ 靶材，满足科研与工业薄膜工艺需求。
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