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氟化铬（CrFₓ）是一类重要的过渡金属氟化物材料，常见价态包括 CrF₂、CrF₃。该类材料具有优异的化学稳定性、良好的耐腐蚀性能、较高的热稳定性以及独特的电子与光学特性，在功能薄膜、光学镀膜、化学防护层及先进材料研究中具有广泛应用价值。
作为溅射靶材，氟化铬可在 RF 磁控溅射系统中稳定沉积成分均匀、致密性高、附着力良好的薄膜，特别适用于对化学惰性和薄膜稳定性要求较高的应用场景。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、规格可定制的氟化铬溅射靶材，满足科研与工业薄膜沉积需求。
纯度：99.9%（3N）– 99.99%（4N）
常见化学组成：CrF₂ / CrF₃（支持定制其他 CrFₓ）
尺寸范围：Φ25–300 mm
厚度范围：3–6 mm（可定制）
形状：圆靶、矩形靶、阶梯靶、异形靶
制造工艺：真空烧结、热压（HP）、CIP/HIP
致密度：≥95% 理论密度
背板结合：Cu / Ti 背板，支持铟焊（Indium Bonding）
高化学稳定性，耐酸、耐氟环境
良好的热稳定性，适用于真空与高温工况
薄膜致密、均匀性好
适合形成防护型、功能型氟化物薄膜
与多种光学及介电材料体系兼容性好
氟化铬（CrF）溅射靶材主要应用于以下领域：
用于特殊功能光学膜、保护膜及多层干涉结构。
在腐蚀性环境中提供稳定的防护层，适用于化工与真空系统部件。
用于调控表面能、化学惰性及薄膜界面特性。
作为界面层、阻挡层或功能过渡层使用。
用于研究过渡金属氟化物的电子结构、磁性及化学稳定性。
| 参数 | 典型范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 3N–4N | 高纯度可降低薄膜缺陷与杂质 |
| 化学组成 | CrF₂ / CrF₃ / 定制 | 满足不同应用需求 |
| 直径 | 25–300 mm | 适配主流溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射稳定性与寿命 |
| 致密度 | ≥95% TD | 提升薄膜致密性 |
| 背板 | Cu / Ti / 铟焊 | 改善散热与结构稳定性 |
| 材料 | 特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| CrF₃ | 化学稳定性高 | 防护膜、功能薄膜 |
| AlF₃ | 绝缘性好 | 电介质薄膜 |
| MgF₂ | 高透过率 | 光学减反膜 |
| TiFₓ | 抗腐蚀性能强 | 光学与防护膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CrF 靶材适合 RF 还是 DC 溅射？ | 通常推荐 RF 磁控溅射。 |
| 氟化铬是否吸湿？ | 吸湿性较低，但建议真空密封保存。 |
| 可否定制不同价态的 CrFₓ？ | 可以，支持 CrF₂、CrF₃ 等定制。 |
| 是否适合化学防护膜？ | 是，CrF 薄膜具有良好耐腐蚀性。 |
| 是否提供背板铟焊？ | 支持 Cu/Ti 背板及铟焊工艺。 |
| 是否可提供检测报告？ | 可按需提供 ICP、密度、尺寸检测报告。 |
真空密封包装
干燥剂防潮保护
防震泡沫固定
出口级纸箱或木箱
每片靶材附唯一溯源码与质检记录
氟化铬靶材（CrF）凭借其优异的化学稳定性、耐腐蚀性能及良好的薄膜成形能力，在光学镀膜、化学防护薄膜及功能材料研究中发挥着重要作用。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制规格的 CrF 溅射靶材，为科研与工业薄膜应用提供可靠支持。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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