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氟化铬蒸发材料采用高纯铬原料,通过受控氟化反应与真空合成工艺制备,形成稳定的 Cr–F 化合物相(CrF₃)。在原料纯化、粉体处理、致密化成型及封装的全过程中,严格控制水分、氧及痕量杂质含量,以确保蒸发过程中化学计量稳定、蒸发行为可控以及薄膜性能具有良好重复性。
纯度等级:99.9%(3N)–99.99%(4N)
材料体系:Cr–F(过渡金属氟化物,CrF₃)
光学特性:可见光区良好透过性,折射率较低
化学特性:化学稳定性高,耐腐蚀性好
成膜优势:单源蒸发,膜层成分均匀、结构稳定
供货形态:颗粒、块状、压片或定制形态,适配钼舟、钨舟及电子束坩埚
通过合理控制蒸发速率、功率曲线与基底温度,可制备致密、低散射、附着力良好且应力可控的 CrF 薄膜。
氟化铬蒸发材料主要应用于以下领域:
功能光学薄膜:低折射率或光学调控层
耐化学与防护薄膜研究:氟化物防护涂层
电子与界面工程薄膜:功能中间层与界面调控
多层光学膜系设计:与 MgF₂、AlF₃、YF₃ 等材料组合
科研与实验室应用:过渡金属氟化物薄膜与物性研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | CrF₃ | 决定化学与光学特性 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质对膜层性能影响 |
| 折射率 | 较低 | 适合功能与光学薄膜 |
| 供货形态 | 颗粒 / 块状 / 压片 | 适配不同蒸发源 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流 PVD 系统 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氟化铬蒸发材料(CrF) | 化学稳定、结构可靠 | 功能薄膜 |
| 氟化铝(AlF₃) | 紫外稳定性好 | UV 光学膜 |
| 氟化镁(MgF₂) | 工艺成熟 | 增透膜 |
| 氟化钇(YF₃) | 稀土稳定性高 | 光学膜系 |
Q1:CrF 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于真空热蒸发与电子束蒸发,科研与功能薄膜中电子束蒸发较为常见。
Q2:CrF 的主要材料优势是什么?
A:良好的化学稳定性与可控的薄膜成分。
Q3:是否主要用于科研用途?
A:是的,主要用于功能薄膜与界面工程研究。
Q4:是否适合多层膜系结构?
A:适合,常作为功能或过渡层使用。
Q5:膜层附着力如何?
A:在玻璃、石英、Si 等常见基底上具有良好附着性能。
Q6:CrF 是否容易吸湿?
A:吸湿性较低,但仍建议真空密封保存。
Q7:蒸发过程是否稳定?
A:在高真空与合理功率控制条件下,蒸发过程稳定、重复性良好。
Q8:科研中常见研究方向有哪些?
A:氟化物防护薄膜、界面工程与过渡金属氟化物研究。
所有氟化铬蒸发材料在出厂前均经过成分与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封、防潮、防震缓冲与出口级包装方案,确保运输与储存过程中材料的高纯度、成分稳定性与使用可靠性。
氟化铬蒸发材料(CrF)凭借其稳定的过渡金属氟化物结构、良好的化学稳定性以及可控的成膜行为,在功能薄膜与科研级薄膜制备中具有明确应用价值。对于涉及界面工程、功能光学或防护薄膜研究的真空蒸发应用,CrF 是一类性能边界清晰、工艺可控性良好的专业蒸发材料选择。
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