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氟化铒蒸发材料以高纯铒源为原料,通过受控氟化反应与真空合成工艺制备形成稳定的 Er–F 化合物相(ErF₃)。在合成、粉体处理、成型与封装的全过程中严格控制水分、氧与痕量杂质,确保蒸发过程中化学计量稳定、蒸发行为可控、薄膜性能一致性高。
纯度等级:99.9%(3N)–99.99%(4N)
材料体系:Er–F(稀土氟化物,ErF₃)
光学特性:可见光–近红外区高透过率
功能特性:Er³⁺ 近红外发光与光谱调控潜力
成膜优势:单源蒸发,成分均匀、膜层稳定
供货形态:颗粒 / 块状 / 压片 / 定制形态,适配钼舟、钨舟及电子束坩埚
通过合理控制蒸发速率、功率与基底温度,可获得致密、低散射、附着力良好且应力可控的 ErF 薄膜。
光学镀膜:低折射率光学功能层
近红外与光通信材料研究:Er³⁺ 发光相关薄膜
功能光学薄膜:光谱调控与能级研究
多层光学膜系:与 MgF₂、YF₃、YbF₃、AlF₃ 等材料配合
科研与实验室应用:稀土氟化物薄膜结构与光学研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | ErF₃ | 决定光学与功能特性 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低吸收与散射 |
| 折射率 | 较低 | 适合光学功能层 |
| 供货形态 | 颗粒 / 块状 / 压片 | 适配不同蒸发源 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流 PVD 系统 |
Q1:ErF 适合哪种沉积方式?
A:适用于真空热蒸发与电子束蒸发,电子束蒸发更利于厚膜与高纯薄膜。
Q2:ErF 的核心优势是什么?
A:稳定的稀土氟化物结构及铒离子在近红外波段的功能特性。
Q3:主要应用于哪些领域?
A:光学薄膜、近红外功能材料及光通信相关科研。
Q4:是否适合多层膜系?
A:适合,常作为低折射率或功能调控层使用。
Q5:膜层附着力如何?
A:在玻璃、石英、Si 等常见基底上具有良好附着性能。
Q6:材料是否吸湿?
A:吸湿性较低,但仍建议真空密封或干燥条件保存。
Q7:蒸发过程是否稳定?
A:在高真空与合理功率控制下,蒸发过程稳定、重复性好。
Q8:科研中常见研究方向?
A:Er³⁺ 发光薄膜、近红外光学与稀土功能材料研究。
产品出厂前经过成分与外观检测并贴附可追溯标签,采用真空密封、防潮、防震缓冲与出口级包装,确保运输与储存过程中的高纯度与使用可靠性。
氟化铒蒸发材料(ErF)凭借其稳定的稀土氟化物结构、良好的光学透明性以及近红外功能潜力,在光学与光通信相关的科研级薄膜制备中具有重要价值。对于需要开展稀土功能薄膜或近红外光学研究的真空蒸发应用,ErF 是一类性能明确、工艺可控性优良的专业蒸发材料选择。
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