氟化钕靶材(NdF)

产品简介(Introduction)

氟化钕(NdF)是一种重要的稀土氟化物材料,具有良好的光学透明性、化学稳定性和特定的折射特性。作为磁控溅射靶材,NdF 能沉积出高纯度、低缺陷、光学性能稳定的薄膜,广泛用于光学镀膜、红外窗口、防反射结构、电介质薄膜、激光系统与科研用途。

氟化钕薄膜的核心优势包括:

  • 优异的紫外—红外透过率

  • 低折射率、表面质量稳定

  • 高激光损伤阈值,适合光学系统

  • 良好的热稳定性及化学惰性

在高端光学器件和电子器件中,NdF 是必不可少的薄膜材料之一。


产品详情(Detailed Description)

氟化钕靶材通常采用 CIP 等静压成形 + 真空/惰性气氛烧结 工艺制备,以确保结构致密、纯度高、无裂纹,并保持良好的溅射性能。

可提供以下标准配置:

  • 纯度:99.9%(3N)– 99.99%(4N)

  • 尺寸:直径 25–300 mm(常规 2″、3″、4″ 常备)

  • 厚度:3–6 mm,可定制更厚/更薄

  • 密度:95–99% 理论密度(TD)

  • 形貌:高致密陶瓷体,无孔洞、无裂纹

  • 形状:圆靶、方靶、阶梯靶、复合靶

  • 背板可选:Cu / Ti / Indium 焊接

工艺优势

  • 化学计量稳定:膜层成分均匀,折射率一致性高

  • 颗粒率低:减少光学膜层中的散射点

  • 力学结构稳固:不易开裂、脱落

  • 溅射速率可控:适合批量稳定生产


应用领域(Applications)

氟化钕靶材广泛用于光学、电介质与高端薄膜工程中,包括:

1. 光学镀膜(Optical Coatings)

  • 低折射率薄膜

  • 多层干涉膜结构

  • AR 防反射膜

  • 光学显示膜层

  • 紫外/可见/红外窗口层

2. 激光与光电系统(Laser & Optoelectronics)

  • 激光器腔镜镀膜

  • 高功率激光反射/透射结构

  • 稳定化光学界面层

3. 电介质薄膜(Dielectric Films)

  • 多层电介质结构

  • 电学绝缘保护膜

  • 微电子封装

4. 科研领域(Scientific Research)

  • 稀土光学材料实验

  • 掺杂光学薄膜研究

  • 量子光学器件镀膜

  • 光学组件寿命提升研究


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9–99.99% 决定光学透过率与缺陷密度
密度 95–99% TD 密度越高,颗粒越少,成膜更均匀
尺寸 25–300 mm 可适配任何主流溅射腔体
厚度 3–6 mm 决定溅射时间与结构稳定性
背板 Cu / Ti / In 焊 提升散热与机械支撑
工艺 CIP + 真空烧结 稳定微结构,提高稳定性

相关材料对比(Comparison)

材料 优势 应用
NdF 稳定介电性、红外透过佳 光学镀膜、介质薄膜
NdF₃ 更高稳定性与更宽透光窗口 激光镀膜、IR 光学
LaF₃ 更低折射率 高端抗反射膜
YF₃ 热稳定性强 红外窗口材料

常见问题(FAQ)

问题 答案
NdF 靶材适合哪种溅射? RF / DC 磁控溅射均可使用。
NdF 薄膜易分解吗? 高致密靶材不易分解,适合中等功率溅射。
可用于高功率激光镀膜? 可以,PrF / NdF / LaF₃ 常用于激光系统。
膜层折射率稳定吗? NdF 薄膜具有稳定的低折射率特性。
能否定制背板? 可提供 Cu、Ti、In 焊等多种背板体系。
是否容易产生颗粒? 高致密化处理能显著降低颗粒。
是否适合多层复合薄膜? 非常适合用于多层干涉膜结构。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封包装

  • 干燥剂防潮

  • 防震泡沫固定

  • 出口级木箱(适合空运/快递)

  • 提供 CoA、检测报告与唯一追踪编号


结论(Conclusion)

氟化钕靶材(NdF)具有优异的光学透明性、低折射率、化学稳定性及良好的介电性能,是光学镀膜、激光系统、薄膜电子与科研领域的重要功能材料。经过高致密烧结工艺的 NdF 靶材可提供稳定、均匀、低缺陷薄膜,是高端光电器件制造的可靠选择。

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