描述
FABMATE® 材料介绍
FABMATE® 是一种专为高真空电子束蒸发工艺开发的专利陶瓷复合材料，由 陶瓷基体结合增强石墨纤维 构成。它兼具陶瓷的高温稳定性和石墨的热导性，并具备良好的机械强度与抗热冲击性能。
相比传统的石墨、氧化铝、氮化硼坩埚，FABMATE® 在高蒸发速率、低污染、形变控制和耐寿命周期方面具有出色的综合性能表现。
应用领域
FABMATE® 电子束坩埚广泛用于以下行业高温蒸发工艺中：
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光学镀膜：如蒸发TiO₂、SiO₂、MgF₂等光学膜材料
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半导体材料制备：Al、Ge、Ga、In、Cr 等金属薄膜蒸发
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太阳能薄膜制造：如CIGS、TCO 材料的多层蒸发制程
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硬质保护膜与功能涂层沉积
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科研机构与高纯材料制备实验室
产品优势
✅ 非导电性好
避免在电子束加热过程中产生电弧放电，提升聚焦效率与镀膜均匀性。
✅ 耐高温不裂纹
在快速加热冷却循环中保持结构稳定，抗热震性能优于普通陶瓷或石墨。
✅ 极低污染性
不会与常见蒸发材料（如金属、氧化物、氟化物等）发生反应或析出杂质。
✅ 寿命周期长
在高负荷条件下可连续运行多个批次，有效降低更换频率与总运营成本。
✅ 多孔位设计可定制
可根据蒸发源数量、束斑大小、材料种类定制单孔、多孔、分区蒸发结构。
常见结构示例
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单孔 FABMATE® 坩埚（适用于单一蒸发材料）
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三孔阶梯型坩埚（用于多材料蒸发或多层镀膜）
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环形槽型坩埚（提升材料利用率与蒸发速率）
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插入式内胆结构（嵌入铜坩埚内部，热耦合良好）
包装与服务
所有 FABMATE® 电子束坩埚在出厂前均进行清洁除尘处理，并以无尘袋独立封装，外层采用高密度泡沫和加固纸箱或木箱包装，确保运输安全和产品洁净度。
苏州科跃材料支持来图定制，工程师可协助匹配适用于您现有 E-Beam 系统的专用坩埚结构。
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