快速结论：采购 AlTi 靶材时，最先需要锁定的是 Al/Ti 比例及其计量基准。AlTi 合金靶常作为反应沉积 AlTiN 等涂层的金属源，但涂层组成和性能还由氮气、功率、偏压、温度及后处理共同决定。
先界定采购对象
AlTi 靶材与 AlTi 蒸发材料、最终 AlTiN 涂层不是同一个验收对象；靶材成分不能直接保证膜层硬度、应力或寿命。
选型时必须锁定的变量
- Al/Ti 比例，必须注明 at.%、wt.% 或双方约定基准
- 靶材制造路线、组织均匀性、孔隙与关键杂质
- 平面/旋转结构、背板、端部和冷却接口
- 反应气氛、功率、偏压、基片温度与沉积方式
这些变量相互作用。论文或其他设备上的单点结果只能帮助识别影响因素，不能直接转写为科跃产品参数、交期或薄膜保证值。
建议的验证路径
- 靶材多位置成分与尺寸检验
- 膜层 GDOES/EDS/XPS 等成分深度验证
- XRD、截面形貌、厚度与应力
- 按刀具/部件工况进行附着、磨损或氧化评价
先约定测试方法、样品位置、环境和判定准则，再讨论数值。靶材合格与薄膜/器件合格是两个验收层级。
RFQ 最少信息
- Al/Ti 目标比例与计量基准
- 靶材图纸、结构和阴极型号
- 关键杂质及检验方法
- 目标涂层与沉积路线
- 样片验收项目而非泛化性能承诺
查看AlTi 靶材产品页的当前公开条目，或通过联系表单提交图纸、设备与目标膜层。纯度、成分公差、尺寸、绑定、检测、数量和交期以书面评审为准。
