硼化铝靶材（AlB₂）

产品简介（Introduction）

硼化铝（AlB₂）是一种典型的金属硼化物材料，具有 较高的硬度、良好的热稳定性、优异的化学惰性以及较低密度。AlB₂ 薄膜在耐磨涂层、功能保护层、电子与能源材料研究等领域具有潜在应用价值，尤其适合对轻量化与耐高温性能有要求的薄膜结构。

作为磁控溅射靶材，AlB₂ 可用于沉积 致密、结构稳定的硼化物薄膜，在科研与功能薄膜开发中被广泛采用。

产品详情（Detailed Description）

• 化学式： AlB₂

• 材料类型： 金属硼化物

• 纯度： 99.5% – 99.99%

• 外观： 深灰色至黑灰色，致密陶瓷金属质感

• 尺寸范围： Ø25–300 mm（支持方形、矩形、异形定制）

• 厚度： 2–6 mm（可定制）

• 致密度： ≥95% 理论密度

• 制造工艺：

  • 高纯铝与硼原料反应合成

  • 冷等静压（CIP）或热压烧结（HP）

  • 真空 / 惰性气氛烧结

  • 精密 CNC 加工、倒角与表面清洗

• 背板选项： Cu / Ti / 铟焊（Indium Bonding）

• 适用工艺： RF 磁控溅射（推荐）、离子束溅射、PVD 功能薄膜系统

说明：AlB₂ 属于弱导电或半导体特性材料，实际溅射方式取决于靶材致密度与电导率，科研应用中多采用 RF 模式。

应用领域（Applications）

• 耐磨与防护涂层（Wear & Protective Coatings）
  用于提升基材表面的硬度、耐磨性与抗腐蚀能力。

• 高温功能薄膜
  适用于高温环境下的结构或保护薄膜研究。

• 电子与功能材料研究
  用于硼化物导电/半导体特性相关研究。

• 轻量化薄膜结构
  AlB₂ 低密度特性适合轻量化功能涂层设计。

• 科研与教学实验
  硼化物薄膜制备与材料性能研究。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

• AlB₂ 靶材适合 DC 还是 RF？
  通常推荐 RF 溅射。

• AlB₂ 是否容易氧化？
  表面在空气中可能轻微氧化，建议真空密封保存。

• 是否支持小尺寸科研靶材？
  支持 ≤1 英寸规格。

• 是否建议使用背板？
  中高功率或长时间沉积建议使用。

包装与交付（Packaging）

• 单片真空密封包装

• 防静电袋 + 防震泡棉

• 出口级木箱

• 提供纯度、尺寸与批次追溯文件

结论（Conclusion）

硼化铝靶材（AlB₂）凭借其轻量化特性、良好的热稳定性和耐磨性能，在功能薄膜与防护涂层领域具有独特优势。苏州科跃材料科技有限公司可提供 高纯度、高致密度、全规格定制的 AlB₂ 溅射靶材，支持科研与前沿应用开发。

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