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高纯钼钛锆合金板具有优异的高温稳定性与抗氧化性,广泛用于半导体设备、真空腔体与高温结构件。可定制尺寸与成分配比,提供真空包装与检测报告。
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钼钛锆合金板(MoTiZr Alloy Plate)是一种由钼(Mo)、钛(Ti)与锆(Zr)组成的高性能合金材料,兼具高熔点金属的强度与钛、锆元素的活性增强特性。该合金在高温环境、真空系统和电子工业中表现出优异的热稳定性、抗氧化性和化学惰性。
MoTiZr 合金板常用于半导体器件支撑、真空腔体部件、靶材底板以及高温结构材料,是一种兼顾机械强度与抗腐蚀性的先进功能材料。
苏州科跃材料科技有限公司生产的钼钛锆合金板采用真空熔炼 + 热轧 + 精密机加工 + 真空退火工艺制备。材料内部组织均匀致密,表面平整光滑,无裂纹、夹杂与氧化皮。
所有产品均符合 ASTM B386 / GB-T 3876 标准,可根据客户要求提供不同成分比例(典型为 Mo-5Ti-1Zr 或 Mo-3Ti-0.5Zr)。
典型规格:
纯度等级:Mo ≥ 93–96%,Ti 2–5%,Zr 0.5–2%
尺寸范围:厚度 0.3 – 10 mm,宽度 ≤ 300 mm,长度 ≤ 1000 mm(可定制)
密度:≈ 10.2 g/cm³
制造工艺:真空熔炼 + 热轧 + 精密磨削 + 真空退火
表面状态:金属灰色 / 抛光光滑 / 无氧化层
高温强度稳定:在 1600°C 以上仍保持高强度。
良好抗氧化与抗腐蚀性:钛、锆元素有效提高表面抗氧化能力。
热膨胀系数低:与陶瓷和玻璃材料匹配度高。
优良焊接与机加工性能:适合精密结构件制造。
化学惰性好:适用于真空与惰性气氛环境。
半导体设备结构件(如支撑板、真空舱部件)
靶材背板 / 靶材底座结合层
高温真空炉加热部件与电极
航天与能源设备耐高温结构件
核能工业与化学反应系统
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 熔点 | ~2600 °C | 高温应用稳定性优异 |
| 密度 | 10.2 g/cm³ | 致密均匀结构 |
| 电阻率 | 6.0 × 10⁻⁸ Ω·m | 良好导电性能 |
| 热导率 | 110 W/m·K | 导热性能优良 |
| 抗拉强度 | ≥550 MPa | 高强度金属合金 |
| 硬度 | HV 220–280 | 耐磨性强 |
| 延展性 | 中高 | 可塑性良好 |
| 工作温度 | ≤1800°C | 长期稳定运行 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| MoTiZr 合金板可用于真空设备吗? | 是的,极适用于真空高温腔体与靶材基底。 |
| 是否能承受高温? | 可在1800°C下长期稳定使用。 |
| 是否具磁性? | 无磁性。 |
| 是否可定制尺寸? | 支持按图加工与定制厚度。 |
| 是否可作为靶材背板? | 是的,常用于Mo靶与Ti靶结合背板。 |
| 是否提供检测报告? | 每批次附纯度与成分分析报告。 |
| 是否符合RoHS/REACH? | 完全符合环保标准。 |
所有钼钛锆合金板出厂前均经真空退火与表面检测。产品采用真空密封、防震、防氧化包装,并附带成分检测报告与材质证明书,支持出口木箱安全运输。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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