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锑化镓蒸发材料通常采用高纯镓与高纯锑为原料,通过真空合成或定向熔炼工艺制备形成稳定的 GaSb 化合物相,并严格控制氧、碳等杂质含量,以保证材料纯度与蒸发过程中成分的一致性。
纯度等级:99.9%(3N)–99.99%(4N),适用于科研及高端半导体薄膜沉积
材料体系:Ga–Sb(Ⅲ–Ⅴ族化合物半导体,近化学计量比 GaSb,可定制)
能带特性:窄带隙材料,适合红外与高速电子应用
成膜一致性:化合物蒸发有利于保持薄膜成分稳定,避免多源共蒸发偏析
供货形态:颗粒、块状、片状或定制形态,兼容电子束坩埚及多种蒸发源
通过优化蒸发速率、基底温度与后处理工艺,可获得晶体质量高、性能稳定的 GaSb 薄膜。
锑化镓蒸发材料在多个半导体与红外相关领域中具有典型应用,包括:
红外探测与光电器件:红外吸收层、探测器薄膜
Ⅲ–Ⅴ族半导体器件:高速电子与光电子器件
异质结构与能带工程:InAs/GaSb、GaSb/AlSb 等结构
量子与低维材料研究:量子阱、超晶格薄膜
科研与实验室应用:载流子输运、界面与能带结构研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 材料体系 | Ga–Sb(Ⅲ–Ⅴ族) | 决定能带与红外特性 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 影响缺陷密度与性能 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 片状 | 适配不同蒸发源 |
| 尺寸范围 | 定制 | 影响蒸发速率与稳定性 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流 PVD 系统 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 锑化镓蒸发材料(GaSb) | 窄带隙、红外响应 | 红外与高速器件 |
| 砷化镓(GaAs) | 工艺成熟 | 光电与微电子 |
| 砷化铟(InAs) | 高电子迁移率 | 红外与高速器件 |
| 锑化铝(AlSb) | 宽带隙 | 势垒与隔离层 |
Q1:GaSb 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发,尤其适合Ⅲ–Ⅴ族化合物薄膜制备。
Q2:GaSb 薄膜的主要优势是什么?
A:具备窄带隙、高红外响应及良好的载流子输运特性。
Q3:成分或化学计量比可以定制吗?
A:可以,可根据器件设计需求定制 Ga/Sb 比例。
Q4:是否适合工业化应用?
A:已广泛用于红外与高速器件相关研究,具备良好工程基础。
Q5:膜层附着力如何?
A:在 Si、GaAs、InAs 等基底上可获得稳定附着。
Q6:是否可用于多层或异质结构?
A:可以,常作为核心功能层或中间能带调控层。
Q7:与多源共蒸发相比有何优势?
A:化合物蒸发更有利于成分一致性与工艺重复性。
Q8:科研中常见研究方向有哪些?
A:红外探测、量子阱结构、能带工程与界面输运研究。
所有锑化镓蒸发材料在出厂前均经过成分与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封、防震缓冲与出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持材料纯度与成分稳定性。
锑化镓蒸发材料(GaSb)凭借其窄带隙特性、优异的红外响应能力以及成熟的Ⅲ–Ⅴ族半导体工艺基础,在红外光电器件、高速电子器件与能带工程研究中展现出重要价值。对于需要稳定成分、可重复沉积与高性能红外半导体薄膜的真空蒸发应用,GaSb 是一种工程成熟、科研与应用并重的关键蒸发材料选择。
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