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锑化铝蒸发材料通常采用高纯铝与高纯锑为原料,通过真空合成或定向熔炼工艺制备形成稳定的 Al–Sb 化合物相,并严格控制氧、碳等杂质含量,以确保材料纯度与蒸发过程中成分的一致性。
纯度等级:99.9%(3N)–99.99%(4N),适用于科研及高端半导体薄膜沉积
材料体系:Al–Sb(Ⅲ–Ⅴ族化合物半导体,近化学计量比 AlSb,可定制)
能带特性:宽带隙材料,适合作为势垒层与隔离层
热稳定性:在较高温度沉积及后续处理条件下仍保持结构稳定
成膜一致性:化合物蒸发有助于保持成分稳定,避免多源共蒸发偏析
供货形态:颗粒、块状、片状或定制形态,兼容电子束坩埚、钼舟或钨舟
通过优化蒸发速率、基底温度与后处理条件,可获得界面清晰、厚度可控的高质量 AlSb 薄膜。
锑化铝蒸发材料在Ⅲ–Ⅴ族半导体与红外器件领域具有典型应用,包括:
高速电子器件:作为势垒层或隔离层使用
红外与量子器件:InAs/AlSb、GaSb/AlSb 异质结构
超晶格与量子阱结构:能带工程与界面调控
半导体基础研究:宽带隙Ⅲ–Ⅴ族材料研究
科研与实验室应用:界面态、能带排列与输运机制研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 材料体系 | Al–Sb(Ⅲ–Ⅴ族) | 决定能带与势垒特性 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 影响缺陷密度与界面质量 |
| 晶体结构 | 闪锌矿结构 | Ⅲ–Ⅴ族主流结构 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 片状 | 适配不同蒸发源 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流 PVD 系统 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 锑化铝蒸发材料(AlSb) | 宽带隙、势垒性能优异 | 异质结构与高速器件 |
| 锑化镓(GaSb) | 窄带隙 | 红外与高速电子 |
| 砷化铝(AlAs) | 宽带隙 | 势垒与隔离层 |
| 砷化铟(InAs) | 高电子迁移率 | 红外与量子器件 |
Q1:AlSb 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发,电子束蒸发更利于精确控制成分与速率。
Q2:AlSb 在器件中通常起什么作用?
A:多作为势垒层、隔离层或超晶格中的能带调控层。
Q3:AlSb 是否适合异质结构生长?
A:是的,AlSb 与 InAs、GaSb 等材料具有良好的晶格与能带匹配性。
Q4:化学计量比可以定制吗?
A:可以,根据研究或器件设计需求定制 Al/Sb 比例。
Q5:是否适合工业化量产?
A:已在部分Ⅲ–Ⅴ族器件研究与中试应用中使用,具备工程基础。
Q6:膜层附着力如何?
A:在 Si、GaSb、InAs 等基底上可获得稳定附着。
Q7:是否可用于多层或量子结构?
A:可以,常用于量子阱、超晶格与异质结设计。
Q8:科研中常见研究方向有哪些?
A:高速电子器件、红外量子结构、能带工程与界面输运研究。
所有锑化铝蒸发材料在出厂前均经过成分与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封、防震缓冲与出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持材料纯度、成分稳定性及安全性。
锑化铝蒸发材料(AlSb)凭借其宽带隙特性、优异的势垒性能以及在Ⅲ–Ⅴ族异质结构中的成熟应用基础,在高速电子器件与红外量子结构研究中展现出重要价值。对于需要实现高质量势垒层、稳定界面及可重复沉积行为的真空蒸发应用,AlSb 是一种科研与工程潜力兼具的关键蒸发材料选择。
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