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硫化铟蒸发材料通常采用高纯铟与高纯硫为原料,通过真空合成或受控固相反应工艺制备形成稳定的 In–S 化合物相(如 InS、In₂S₃ 等,具体取决于化学计量比)。在原料制备、合成、加工与封装全过程中,严格控制氧、水分及痕量杂质含量,以确保蒸发过程中化学计量稳定、蒸发行为可预测以及薄膜性能高度可重复。
纯度等级:99.9%(3N)–99.99%(4N)
材料体系:In–S(Ⅲ–Ⅵ族化合物半导体)
结构特征:层状或准层状结构(依相组成而定)
光电特性:适中带隙,具备良好可见光响应
成膜优势:化合物单源蒸发,有利于保持 In/S 成分一致性
供货形态:颗粒、块状、压片或定制形态,兼容钼舟、钨舟及电子束坩埚
通过合理调控蒸发速率、基底温度及后续退火条件,可获得致密均匀、结晶质量良好、光电性能稳定的 InS 薄膜。
硫化铟蒸发材料在光电与功能半导体领域具有以下典型应用:
光电与光敏器件:可见光响应薄膜
半导体功能薄膜:导电或吸收层研究
薄膜太阳能电池研究:缓冲层或功能层探索
异质结构与多层薄膜:与 ZnS、CdS、InSe 等材料组合
科研与实验室应用:能带工程、缺陷调控与界面研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 材料体系 | In–S | 决定光学与电学性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低缺陷与杂质影响 |
| 相组成 | InS / In₂S₃ | 影响带隙与电学行为 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 压片 | 适配不同蒸发源 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流 PVD 系统 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 硫化铟蒸发材料(InS) | 可调带隙、兼容性好 | 光电功能薄膜 |
| 硒化铟(InSe) | 光电性能突出 | 光探测器 |
| 硫化镉(CdS) | 工艺成熟 | 缓冲层 |
| 硫化锌(ZnS) | 透过率高 | 光学镀膜 |
Q1:InS 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于真空热蒸发与电子束蒸发,热蒸发在 In–S 薄膜制备中更为常见。
Q2:InS 与 In₂S₃ 有何区别?
A:两者化学计量比不同,带隙与电学特性存在差异,适用于不同研究需求。
Q3:是否主要用于科研用途?
A:是的,目前以光电与半导体基础研究为主。
Q4:化学计量比可以定制吗?
A:可以,可根据光电或器件性能需求调整 In/S 比例。
Q5:膜层附着力如何?
A:在玻璃、Si、SiO₂、ITO 等常见基底上具有良好附着性能。
Q6:是否适合多层薄膜结构?
A:适合,可作为功能层或缓冲层使用。
Q7:蒸发过程是否稳定?
A:在合理真空度与功率控制条件下,蒸发过程稳定、重复性良好。
Q8:科研中常见研究方向有哪些?
A:光电薄膜、能带调控、异质结构与界面工程研究。
所有硫化铟蒸发材料在出厂前均经过成分与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封、防潮、防震缓冲及出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持材料的高纯度、成分稳定性与使用可靠性。
硫化铟蒸发材料(InS)凭借其可调带隙特性、良好的光电响应能力以及稳定的成膜可控性,在光电功能薄膜与Ⅲ–Ⅵ族半导体研究中持续展现应用潜力。对于需要制备高质量光电薄膜、开展半导体物性或器件研究的真空蒸发应用,InS 是一类研究导向明确、技术成熟度较高的关键蒸发材料选择。
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