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碳化锆蒸发材料采用高纯锆源与高纯碳源,通过受控碳化反应及高温烧结工艺制备形成致密稳定的 Zr–C 化合物相(ZrC)。在原料提纯、相组成控制、致密化处理与最终封装全过程中,严格控制氧、氮等杂质含量,以保证蒸发过程中成分稳定、蒸发行为可控、薄膜结构一致性高。
纯度等级:99.5% – 99.9%(科研与工程常用等级)
材料体系:Zr–C(碳化锆,ZrC)
物理特性:超高熔点、高硬度、高热稳定性
电学特性:良好导电性,适合功能与防护薄膜
成膜优势:膜层致密、耐磨、耐高温、耐腐蚀
供货形态:颗粒 / 块状 / 压片 / 定制形态,适配电子束坩埚及高温蒸发源
由于 ZrC 熔点极高,电子束蒸发通常是更稳定、更可控的沉积方式。
耐高温防护薄膜:高温结构件与功能部件表面保护
耐磨与硬质涂层:刀具、机械部件、功能防护层
电子与功能薄膜:导电耐热功能层
核能与极端环境材料研究:高温与辐照相关研究
多层功能膜系设计:与 ZrN、TiC、HfC 等材料组合
科研与实验室应用:超高温陶瓷(UHTC)薄膜研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | ZrC | 决定高温与机械性能 |
| 纯度 | 99.5% – 99.9% | 控制薄膜缺陷与稳定性 |
| 熔点 | >3500 °C | 适合极端高温环境 |
| 电导性 | 良好 | 功能与防护薄膜适用 |
| 供货形态 | 颗粒 / 块状 / 压片 | 适配高温蒸发设备 |
| 蒸发方式 | 电子束蒸发(推荐) | 适合高熔点材料 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 碳化锆蒸发材料(ZrC) | 超高熔点、耐高温 | 高温防护薄膜 |
| 碳化钛(TiC) | 工艺成熟 | 耐磨涂层 |
| 碳化铪(HfC) | 极限高温性能 | 超高温应用 |
| 氮化锆(ZrN) | 导电性好 | 装饰/功能膜 |
Q1:ZrC 适合哪种沉积方式?
A:推荐使用电子束蒸发,高熔点使其更易实现稳定沉积。
Q2:ZrC 薄膜的核心优势是什么?
A:极高的热稳定性、硬度与耐磨性能。
Q3:是否适合高温环境应用?
A:非常适合,是典型的超高温陶瓷薄膜材料。
Q4:是否可作为导电功能层?
A:可以,ZrC 具有良好的电导率。
Q5:膜层附着力如何?
A:在金属、Si、陶瓷基底上表现良好,适合高温使用。
Q6:是否可与其他材料形成多层膜?
A:可以,常与氮化物、碳化物组合形成复合膜系。
Q7:蒸发过程中是否容易飞溅?
A:在电子束功率合理控制下,蒸发过程稳定。
Q8:主要应用偏向科研还是工程?
A:同时适用于高端科研与工程导向型应用。
所有碳化锆蒸发材料在出厂前均经过成分与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封、防潮、防震缓冲及出口级包装方案,确保运输与储存过程中材料的成分稳定性与使用可靠性。
碳化锆蒸发材料(ZrC)凭借其超高熔点、卓越的热稳定性及优异的机械与化学性能,在高温防护、耐磨及功能薄膜领域中具有不可替代的应用价值。对于涉及极端环境、高功率或超高温条件的真空蒸发薄膜制备,ZrC 是一类技术门槛高但性能回报极大的专业蒸发材料选择。
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