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碳化钽蒸发材料采用高纯钽源与高纯碳源,通过精确配比的碳化反应及高温烧结工艺制备,形成致密稳定的 Ta–C 化合物相(TaC)。在原料纯化、化学计量控制、晶相稳定与致密化处理全过程中,严格控制氧、氮等杂质含量,以确保蒸发过程中成分稳定、蒸发行为可控、薄膜结构高度一致。
纯度等级:99.5% – 99.9%(科研与高端工程常用)
材料体系:Ta–C(碳化钽,TaC)
物理特性:极高熔点、超高硬度、耐磨性极强
热学性能:高温结构稳定,抗热冲击能力优异
成膜优势:膜层致密、耐高温、耐腐蚀、寿命长
供货形态:颗粒 / 块状 / 压片 / 定制形态,适配电子束坩埚及高功率蒸发系统
由于 TaC 熔点极高,电子束蒸发是最常见且最稳定的沉积方式。
超高温防护薄膜:航空航天与极端高温结构件
耐磨与硬质涂层:高负载、高磨损环境
核能与极端环境材料研究
高功率电子与功能薄膜:耐热导电或屏蔽层
多层复合膜系设计:与 HfC、ZrC、TiC、TaN 等材料组合
科研与实验室应用:超高温陶瓷与界面行为研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | TaC | 决定极端高温与机械性能 |
| 纯度 | 99.5% – 99.9% | 控制薄膜缺陷与稳定性 |
| 熔点 | >3900 °C | 超高温应用基础 |
| 硬度 | 极高 | 耐磨与防护性能 |
| 供货形态 | 颗粒 / 块状 / 压片 | 适配高功率蒸发设备 |
| 蒸发方式 | 电子束蒸发(推荐) | 高熔点材料必选方案 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 碳化钽蒸发材料(TaC) | 最高级别耐高温性能 | 超高温防护薄膜 |
| 碳化铪(HfC) | 极端耐热 | 航空航天 |
| 碳化锆(ZrC) | 高温稳定 | 高温结构薄膜 |
| 碳化钛(TiC) | 工艺成熟 | 工业耐磨涂层 |
Q1:TaC 适合哪种沉积方式?
A:强烈推荐电子束蒸发,能够稳定处理其超高熔点特性。
Q2:TaC 薄膜的核心优势是什么?
A:极端高温稳定性、超高硬度与长期可靠性。
Q3:是否适合航空航天应用?
A:是的,TaC 是典型的航空航天级超高温陶瓷材料。
Q4:是否具有导电性?
A:具有一定导电性,可用于耐热功能层研究。
Q5:膜层附着力如何?
A:在金属、Si、陶瓷及复合基底上均表现良好。
Q6:是否可与其他材料形成复合或梯度膜?
A:可以,常用于超高温多层或复合膜系设计。
Q7:蒸发过程中是否存在飞溅风险?
A:在高功率电子束条件下需合理控制功率曲线以避免飞溅。
Q8:应用更偏科研还是工程?
A:同时适用于前沿科研与高端工程应用。
所有碳化钽蒸发材料在出厂前均经过成分与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封、防潮、防震缓冲及出口级包装方案,确保运输与储存过程中材料的成分稳定性与使用安全性。
碳化钽蒸发材料(TaC)凭借其接近理论极限的耐高温性能、超高硬度及卓越的化学稳定性,在超高温防护、航空航天及前沿功能薄膜领域中占据顶级材料地位。对于需要在极端条件下实现长期稳定运行的真空蒸发薄膜制备,TaC 是一类技术门槛极高、但性能回报同样处于顶级水平的专业蒸发材料选择。
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