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氮化钛锡蒸发材料(Titanium Tin Nitride Evaporation Material,TiSnN)是一种由钛(Ti)、锡(Sn)与氮(N)组成的多元过渡金属氮化物蒸发材料,主要应用于真空热蒸发与电子束蒸发(E-beam Evaporation)等 PVD 薄膜沉积工艺。
TiSnN 在 TiN 体系基础上引入 Sn 元素,可在保持高硬度、耐磨性与良好导电性的同时,进一步改善膜层色泽、内应力控制与工艺适应性,是一类兼顾功能与装饰性能的先进复合氮化物材料。
在需要薄膜同时满足耐磨、防护、装饰外观与稳定工艺窗口的应用场景中,氮化钛锡是一类工程化程度较高的蒸发材料选择。
氮化钛锡蒸发材料以高纯钛、锡金属源为基础,通过精确配比并在受控氮化条件下合成稳定的 Ti–Sn–N 多元氮化物体系。通过高温合成与致密化处理,使材料在蒸发过程中保持成分均匀、蒸发速率稳定、薄膜组成可重复。
Sn 的引入有助于:
调节膜层晶粒结构与内应力
改善薄膜延展性与附着力
优化膜层色泽与装饰一致性
纯度等级:99.5% – 99.9%(科研与工程常用)
材料体系:Ti–Sn–N(氮化钛锡,TiSnN)
物理特性:高硬度、良好耐磨性
电学特性:良好导电性
外观特性:金色至浅金色金属光泽,可调
成膜优势:致密度高、应力可控、附着力优良
供货形态:颗粒 / 块状 / 压片 / 定制形态,适配钼舟、钨舟或电子束坩埚
在高致密或厚膜需求下,电子束蒸发更有利于获得稳定沉积效果。
耐磨与防护薄膜:刀具、模具、机械零部件
装饰与功能涂层:高端装饰镀层、替代 TiN
电子与功能薄膜:耐热导电层
真空与化工环境涂层:耐腐蚀、防护应用
多层复合膜系:与 TiN、CrN、ZrN、TiAlN 等材料组合
科研与实验室应用:多元氮化物薄膜结构与性能研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | TiSnN | 决定力学与外观性能 |
| 纯度 | 99.5% – 99.9% | 降低薄膜缺陷 |
| 硬度 | 高 | 耐磨与防护性能 |
| 电导性 | 良好 | 功能薄膜应用 |
| 色泽 | 金色(可调) | 装饰与功能结合 |
| 供货形态 | 颗粒 / 块状 / 压片 | 适配蒸发设备 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 工艺兼容性强 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氮化钛锡蒸发材料(TiSnN) | 耐磨 + 外观优化 | 功能/装饰复合膜 |
| 氮化钛(TiN) | 工艺成熟 | 装饰与耐磨 |
| 氮化铬(CrN) | 耐蚀性好 | 工程防护 |
| 氮化钛铝(TiAlN) | 高温性能 | 刀具涂层 |
Q1:TiSnN 适合哪种沉积方式?
A:热蒸发与电子束蒸发均可,电子束蒸发更利于高致密膜层。
Q2:TiSnN 与 TiN 的主要区别是什么?
A:TiSnN 通过 Sn 掺杂改善膜层应力、附着力与色泽一致性。
Q3:是否适合装饰镀膜?
A:是的,可获得稳定、均匀的金色外观。
Q4:是否具有导电性?
A:具有良好导电性,适合功能薄膜应用。
Q5:膜层附着力如何?
A:在金属、Si、玻璃等基底上表现优良。
Q6:是否可用于多层膜结构?
A:可以,常用于耐磨/装饰多层复合膜设计。
Q7:蒸发过程是否稳定?
A:在合理功率与真空条件下,蒸发过程稳定、重复性高。
Q8:应用更偏科研还是工程?
A:兼顾科研探索与工程及装饰应用。
所有氮化钛锡蒸发材料在出厂前均经过成分与外观检测,并贴附唯一追溯标签。产品采用真空密封、防潮、防震缓冲与出口级包装方案,确保运输与储存过程中材料的成分稳定性与使用可靠性。
氮化钛锡蒸发材料(TiSnN)通过多元元素设计,在传统 TiN 体系基础上实现了耐磨性能、外观效果与工艺稳定性的综合提升。对于需要在防护、装饰及功能应用中实现高一致性与高可靠性的真空蒸发薄膜制备,TiSnN 是一类性能均衡、工程成熟度较高的专业蒸发材料选择。
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