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氧化锌蒸发材料采用高纯 ZnO 粉体原料,经精确成形与高温烧结制备,确保材料致密度高、化学计量稳定,满足高真空蒸发与高能束流沉积需求。
化学组成:ZnO
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:高纯粉体 → 成形 → 高温烧结
表面状态:致密、低吸附,适合高真空蒸发
高质量 ZnO 蒸发材料有助于:
保证蒸发过程中成分稳定;
提高薄膜致密度与厚度均匀性;
改善薄膜的光学透明性与电学一致性;
提升工艺重复性与设备运行稳定性。
透明导电与功能薄膜:透明电极、窗口层
光电子器件:紫外探测器、LED 相关薄膜
传感器技术:气体传感、光学与功能传感薄膜
显示与光学镀膜:透明功能层与保护层
科研实验:宽禁带半导体与氧化物电子学研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | ZnO | 决定光学与电学性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质缺陷 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 熔点 | ~1975 °C | 适合高温蒸发 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 高熔点氧化物常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化锌(ZnO) | 透明、宽禁带 | 透明电子与传感 |
| 氧化锌镓(ZnGaO) | 电学可调 | 透明导电薄膜 |
| 氧化铟锡(ITO) | 电阻低 | 显示与触控 |
| 氧化钛(TiO₂) | 高折射率 | 光学功能薄膜 |
Q1:ZnO 蒸发材料适合哪种蒸发方式?
A:适用于电子束蒸发,也可在高温条件下进行热蒸发。
Q2:ZnO 薄膜是否透明?
A:是的,在可见光与近紫外波段具有高透过率。
Q3:ZnO 可以作为透明导电薄膜吗?
A:可以,通过掺杂(如 Ga、Al)可显著提升导电性。
Q4:ZnO 薄膜适合高温应用吗?
A:适合,具有良好的热稳定性与化学稳定性。
Q5:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率与膜厚控制。
Q6:ZnO 与 ITO 相比有什么优势?
A:ZnO 原料更丰富、成本更低,适合大面积应用。
Q7:是否适合科研级应用?
A:非常适合,是宽禁带半导体研究的常用材料。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封保存,避免吸湿。
Q9:是否支持定制规格?
A:支持,可根据蒸发设备与工艺需求定制。
Q10:是否可提供掺杂型 ZnO?
A:可提供 Al 掺杂或 Ga 掺杂 ZnO 蒸发材料。
所有氧化锌蒸发材料在出厂前均经过严格检测并建立批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲及出口级包装,确保运输与储存过程中材料洁净度与性能稳定。
氧化锌蒸发材料(ZnO)凭借其优异的光学透明性、宽禁带特性与成熟的工艺适配性,在透明电子、光电子器件与功能薄膜领域中具有长期稳定的应用价值。对于追求高一致性、高可靠性与可扩展性的薄膜沉积需求,ZnO 是一种成熟且性价比突出的氧化物蒸发材料选择。
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