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铅锆蒸发材料由高纯铅(Pb)与高纯锆(Zr)按指定比例进行真空合金化制备,经均化处理与精密成形后得到适用于热蒸发或电子束蒸发的材料形态。
在沉积过程中,Pb 提供低熔点、易蒸发特性,而 Zr 提供优异的化学稳定性与结构支撑,有利于形成成分均匀的前驱薄膜。
化学组成:Pb–Zr 合金
常见配比:Pb/Zr 原子比或质量比可定制
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N,单质纯度控制)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:高纯原料 → 真空熔炼 → 合金均化 → 成形加工
高品质 PbZr 蒸发材料可有效:
实现 Pb 与 Zr 的稳定、同步引入;
降低多源蒸发过程中的成分漂移风险;
提升后续氧化薄膜的化学计量一致性;
满足铁电、压电薄膜对成分精度的高要求。
铁电与压电薄膜:PbZrO₃、PZT 相关体系
MEMS 与微执行器:功能铁电层
非易失存储器(FeRAM):铁电功能层
传感器与致动器:压电薄膜
科研实验:铅基功能氧化物与相变研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | Pb–Zr 合金 | 决定前驱成分 |
| Pb/Zr 比例 | 可定制 | 控制铁电相组成 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低缺陷与杂质 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 适用工艺 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 前驱合金常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止氧化与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 铅锆(PbZr) | 成分可调、前驱灵活 | 铁电薄膜 |
| 铅钛(PbTi) | 成熟体系 | PZT 材料 |
| PZT 氧化物 | 直接成膜 | 量产工艺 |
| 锆金属(Zr) | 稳定性高 | 结构与掺杂 |
Q1:PbZr 主要用于金属薄膜还是氧化物薄膜?
A:主要用于反应沉积或后氧化制备铅锆基氧化物薄膜。
Q2:Pb/Zr 比例是否关键?
A:是的,直接影响铁电相结构与性能。
Q3:适合哪种蒸发方式?
A:适用于高真空热蒸发,也可采用电子束蒸发。
Q4:Pb 易挥发会造成成分偏差吗?
A:通过合金化与工艺优化可显著降低偏差风险。
Q5:是否适合科研级实验?
A:非常适合,尤其用于铁电与压电材料研究。
Q6:材料是否存在安全注意事项?
A:含 Pb,需遵循实验室安全与环保规范。
Q7:是否支持定制比例与小批量?
A:支持,常用于科研定制。
Q8:蒸发过程中是否需要氧气?
A:制备氧化物时通常需要受控氧分压。
Q9:材料如何储存?
A:建议真空密封、阴凉干燥保存。
Q10:是否可提供相关材料?
A:可提供 PbTi、PbSn、Zr、PZT 靶材等。
所有铅锆蒸发材料(PbZr)在出厂前均经过成分与纯度检测,并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲与出口级包装,确保运输与储存过程中材料成分稳定、表面洁净、蒸发性能可靠。
铅锆蒸发材料(PbZr)作为铅基铁电与压电氧化物的重要前驱蒸发材料,在功能薄膜与前沿器件研究中具有不可替代的价值。对于需要精确控制 Pb/Zr 比例、开展铁电相工程或新型器件开发的薄膜沉积应用,PbZr 是一种成熟、可靠且高度科研导向的蒸发材料选择。
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