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PbLaZr 蒸发材料由高纯铅(Pb)、高纯镧(La)与高纯锆(Zr)按指定原子比或质量比进行真空合金化制备,经均化处理与精密成形后,适配高真空热蒸发或电子束蒸发工艺。
其中 Pb 提供低熔点与良好蒸发特性,Zr 负责结构与化学稳定性,而 La 则用于调控 A 位缺陷与价态平衡,从而优化铁电与介电行为。
化学组成:Pb–La–Zr 合金
常见配比:Pb / La / Zr 比例可定制(对应 PLZ、PLZT 体系)
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N,单质纯度控制)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:高纯原料 → 真空熔炼 → 合金均化 → 成形加工
高品质 PbLaZr 蒸发材料可有效:
实现 Pb、La、Zr 多元素的同步、稳定引入;
降低多源蒸发带来的成分漂移风险;
提升后续氧化薄膜的化学计量与相一致性;
支撑铁电/介电薄膜对掺杂精度的严格要求。
铁电与介电薄膜:PLZ、PLZT 等体系
非易失存储器(FeRAM):介电与铁电功能层
MEMS 器件:微执行器、微传感器
光电与电容器件:高稳定介电层
科研实验:铅基稀土改性氧化物研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | Pb–La–Zr 合金 | 决定前驱成分与掺杂 |
| Pb/La/Zr 比例 | 可定制 | 调控铁电与介电性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低缺陷与漏电 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 适用工艺 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 前驱合金常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止氧化与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 铅镧锆(PbLaZr) | 稀土改性、稳定性高 | PLZ/PLZT 薄膜 |
| 铅锆(PbZr) | 体系简单 | 铁电前驱 |
| 铅钛锆(PZT) | 成熟度高 | 量产器件 |
| 铅镧钛锆(PLZT) | 介电性能优异 | 光电与存储 |
Q1:PbLaZr 主要用于金属薄膜还是氧化物薄膜?
A:主要作为金属前驱,用于反应沉积或后氧化形成氧化物薄膜。
Q2:La 的引入有什么作用?
A:改善介电稳定性、降低漏电并提升疲劳寿命。
Q3:Pb/La/Zr 比例是否关键?
A:非常关键,直接影响相结构与器件性能。
Q4:适合哪种蒸发方式?
A:高真空热蒸发与电子束蒸发均可。
Q5:Pb 易挥发会造成成分偏差吗?
A:通过合金化与功率控制可有效降低风险。
Q6:是否适合科研级实验?
A:非常适合,广泛用于铁电与介电材料研究。
Q7:沉积过程中是否需要氧气?
A:制备氧化物时需受控氧分压。
Q8:是否支持小批量与定制比例?
A:支持,满足科研与中试需求。
Q9:材料如何储存?
A:真空密封、阴凉干燥保存,避免空气暴露。
Q10:是否可提供相关前驱材料?
A:可提供 PbZr、PbTi、PbLaTi、PZT 等。
所有铅镧锆蒸发材料(PbLaZr)在出厂前均经过成分与纯度检测并建立批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲与出口级包装,确保运输与储存过程中材料成分稳定、表面洁净、蒸发性能可靠。
铅镧锆蒸发材料(PbLaZr)作为稀土改性铅锆基功能氧化物的重要前驱蒸发材料,在高稳定介电与铁电薄膜研究中具有显著优势。对于需要精确控制 Pb/La/Zr 掺杂比例、开展材料性能优化与器件验证的薄膜沉积应用,PbLaZr 是一种成熟、可靠且高度科研导向的蒸发材料选择。
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